JPH01100435U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01100435U JPH01100435U JP19687087U JP19687087U JPH01100435U JP H01100435 U JPH01100435 U JP H01100435U JP 19687087 U JP19687087 U JP 19687087U JP 19687087 U JP19687087 U JP 19687087U JP H01100435 U JPH01100435 U JP H01100435U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning nozzle
- semiconductor wafer
- nozzle
- cleaning
- base
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の断面図である。
１……ウエハ、２……スピンモータ、３……基
体、４……塗布液配管、５……ノズル、６……バ
ツクリンスノズル、７……移動ステージ、８……
溶剤配管、９……カツプ。
体、４……塗布液配管、５……ノズル、６……バ
ツクリンスノズル、７……移動ステージ、８……
溶剤配管、９……カツプ。
Claims (1)
- 半導体ウエハを真空吸着する基体と該基体を回
転させるモータと前記半導体ウエハ上に塗布液を
滴下させるノズルと半導体ウエハの裏面を洗浄す
るための洗浄用ノズルとを有する塗布装置におい
て、前記洗浄用ノズルは該洗浄用ノズルを移動さ
せる移動ステージ上に固定されていることを特徴
とする塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19687087U JPH01100435U (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19687087U JPH01100435U (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01100435U true JPH01100435U (ja) | 1989-07-05 |
Family
ID=31487460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19687087U Pending JPH01100435U (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01100435U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05317789A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 裏面洗浄装置 |
| JP2000114152A (ja) * | 1998-10-08 | 2000-04-21 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
| JP2017098295A (ja) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置の製造装置及び製造方法 |
-
1987
- 1987-12-24 JP JP19687087U patent/JPH01100435U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05317789A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 裏面洗浄装置 |
| JP2000114152A (ja) * | 1998-10-08 | 2000-04-21 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
| JP2017098295A (ja) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置の製造装置及び製造方法 |