JPH033732U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH033732U JPH033732U JP6515789U JP6515789U JPH033732U JP H033732 U JPH033732 U JP H033732U JP 6515789 U JP6515789 U JP 6515789U JP 6515789 U JP6515789 U JP 6515789U JP H033732 U JPH033732 U JP H033732U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- cup
- lower cup
- wafer
- open
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図はこの考案の他の実施例を示すノズルの斜視
図、第３図は従来のレジスト塗布装置の断面図で
ある。 図において、１……下カツプ、２……上カツプ
、４……駆動モーター、５……回転軸、６……ス
ピンチヤツク、７……スカート、１０……ウエハ
、１１，１２……ノズルである。なお、各図中同
一符号は同一又は相当部分を示す。
２図はこの考案の他の実施例を示すノズルの斜視
図、第３図は従来のレジスト塗布装置の断面図で
ある。 図において、１……下カツプ、２……上カツプ
、４……駆動モーター、５……回転軸、６……ス
ピンチヤツク、７……スカート、１０……ウエハ
、１１，１２……ノズルである。なお、各図中同
一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 上端が開口した筒状の下カツプ、この下カツプ
の開口側を覆い、処理液をウエハ上面に吐出する
ノズルが取付けられた上カツプ、この上カツプ内
側外周部に設けられ、上記ウエハの外周部外側に
おいて下方向へエアー又はＮ２ガス送出するノズ
ルを備えたレジスト処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6515789U JPH033732U (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6515789U JPH033732U (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033732U true JPH033732U (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=31596739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6515789U Pending JPH033732U (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033732U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5199632U (ja) * | 1975-02-05 | 1976-08-10 |
-
1989
- 1989-06-01 JP JP6515789U patent/JPH033732U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5199632U (ja) * | 1975-02-05 | 1976-08-10 |