JPH0365238U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0365238U JPH0365238U JP12683689U JP12683689U JPH0365238U JP H0365238 U JPH0365238 U JP H0365238U JP 12683689 U JP12683689 U JP 12683689U JP 12683689 U JP12683689 U JP 12683689U JP H0365238 U JPH0365238 U JP H0365238U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- rotary table
- drain
- nitrogen gas
- introducing nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案のスピンコート装置の第１の実
施例の構成を示す側面図、第２図は第１図におけ
る上面図である。第３図は本考案のスピンコート
装置の第２の実施例の構成を示す側面図、第４図
は第３図における上面図である。 ２……排液カツプ、３……回転台、４……ガス
注入バルブ、５……ノズル、７……フオトレジス
ト送出機構、８……回転駆動手段、９……Ｎ２ガ
ス送出機構、１１……ガス注入バルブ、１２……
回転台、１３……Ｎ２ガス送出機構、Ｏｐ……排
液口、Ｐ……開口部、Ｈｗ……フオトレジスト。
施例の構成を示す側面図、第２図は第１図におけ
る上面図である。第３図は本考案のスピンコート
装置の第２の実施例の構成を示す側面図、第４図
は第３図における上面図である。 ２……排液カツプ、３……回転台、４……ガス
注入バルブ、５……ノズル、７……フオトレジス
ト送出機構、８……回転駆動手段、９……Ｎ２ガ
ス送出機構、１１……ガス注入バルブ、１２……
回転台、１３……Ｎ２ガス送出機構、Ｏｐ……排
液口、Ｐ……開口部、Ｈｗ……フオトレジスト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 少なくとも、ウエーハが装着されて回転する回
転台とフオトレジスト滴下機構と、排液口が形成
されて前記回転台を包囲する排液カツプと排気口
を備えたスピンコート装置において、 前記排液口並びに排気口から離間した位置に窒
素ガスを導入する導入口が設けられ、或いは回転
台に、窒素ガスを導入する導入口が設けられて、
排液カツプ内が窒素雰囲気に形成されることを特
徴とするスピンコート装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12683689U JPH0365238U (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12683689U JPH0365238U (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0365238U true JPH0365238U (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=31674626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12683689U Pending JPH0365238U (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0365238U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006122545A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Katsuyoshi Kuwabara | アイシング・サポータ |
-
1989
- 1989-10-30 JP JP12683689U patent/JPH0365238U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006122545A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Katsuyoshi Kuwabara | アイシング・サポータ |