JPH03112928U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03112928U JPH03112928U JP2173690U JP2173690U JPH03112928U JP H03112928 U JPH03112928 U JP H03112928U JP 2173690 U JP2173690 U JP 2173690U JP 2173690 U JP2173690 U JP 2173690U JP H03112928 U JPH03112928 U JP H03112928U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- nozzle
- removal liquid
- conjunction
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案にかゝるレジスト塗布装置の構
成図、第２図は従来のレジスト塗布装置の部分構
成図、第３図はウエハの平面図、である。 図において、１……ウエハ、４……レジスト塗
布ノズル、５……第１のレジスト除去液供給ノズ
ル、６……オリエンテーシヨンフラツト、７……
第１のエア供給ノズル、８……移動機構、９……
第２のレジスト除去液供給ノズル、１０……第２
のエア供給ノズル、である。
成図、第２図は従来のレジスト塗布装置の部分構
成図、第３図はウエハの平面図、である。 図において、１……ウエハ、４……レジスト塗
布ノズル、５……第１のレジスト除去液供給ノズ
ル、６……オリエンテーシヨンフラツト、７……
第１のエア供給ノズル、８……移動機構、９……
第２のレジスト除去液供給ノズル、１０……第２
のエア供給ノズル、である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 モータ２により回転するウエハ１の中心部にレ
ジストを滴下するレジスト滴下ノズル４と、 回転するウエハ１の外周部に位置し、レジスト
除去液を供給する第１のレジスト除去液供給ノズ
ル５と、 該ノズル５と連動してレジスト除去液の中心方
向への流れ込みを防ぐエアを供給する第１のエア
吹き出しノズル７と、 所定位置に停止したウエハのオリエンタルフラ
ツト６に沿つて連動して直線運動する第２のレジ
スト供給ノズル９および第２のエア吹き出しノズ
ル１０と、 を少なくとも備えて構成されていることを特徴と
するレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2173690U JPH03112928U (ja) | 1990-03-05 | 1990-03-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2173690U JPH03112928U (ja) | 1990-03-05 | 1990-03-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03112928U true JPH03112928U (ja) | 1991-11-19 |
Family
ID=31524768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2173690U Pending JPH03112928U (ja) | 1990-03-05 | 1990-03-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03112928U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9925174B2 (en) | 2002-03-07 | 2018-03-27 | Boehringer Ingelheim International Gmbh | Administration form for the oral application of 3-[(2-{[4-(hexyloxycarbonyl-amino-imino-methyl)-phenylamino]-methyl}-1-methyl-1 H-benzimidazol acid ethyl ester and the salts thereof |
-
1990
- 1990-03-05 JP JP2173690U patent/JPH03112928U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9925174B2 (en) | 2002-03-07 | 2018-03-27 | Boehringer Ingelheim International Gmbh | Administration form for the oral application of 3-[(2-{[4-(hexyloxycarbonyl-amino-imino-methyl)-phenylamino]-methyl}-1-methyl-1 H-benzimidazol acid ethyl ester and the salts thereof |
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