JPH0465446U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図はチヤツ
クプレートの平面図、第２図は断面図、第３図は
オリフラ係合片の斜視図、第４図はオリフラ係合
片の側面図、第５図はオリフラ係合片の平面図、
第６図及び第７図はオリフラ係合片の他の実施例
の平面図及び拡大断面図、以下従来例を示し第８
図はスクラビン装置の一部の側面図、第９図は使
用状態の説明図である。 １０……チヤツクプレート、１１……ウエーハ
支持片、１３……チヤツクセンター、２０……オ
リフラ係合片。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ウエーハを回転自在に支持するスピンチヤツ
   クにおいて、ウエーハ表面に供給された流体がオ
   リエンテーシヨンフラツトから裏面に回り込まな
   いようオリエンテーシヨンフラツトに沿つてウエ
   ーハに係合するオリフラ係合片を設けたことを特
   徴とするスピンチヤツク。 ２ 回転可能なチヤツクセンター、該チヤツクセ
   ンターに交換可能に取付けたチヤツクプレート、
   ウエーハの周縁に係合し該ウエーハをチヤツクプ
   レート上に支持するよう該プレートに突設したウ
   エーハ保持片、該保持片によつて支持されたウエ
   ーハのオリエンテーシヨンフラツトに沿つて係合
   するオリフラ係合片を具備するスピンチヤツク。 ３ 上記チヤツクセンター中央には、ウエーハの
   周辺に向けて気体を噴出する噴出口が設けられて
   いる請求項２に記載のスピンチヤツク。