JPH0390675U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0390675U JPH0390675U JP15085889U JP15085889U JPH0390675U JP H0390675 U JPH0390675 U JP H0390675U JP 15085889 U JP15085889 U JP 15085889U JP 15085889 U JP15085889 U JP 15085889U JP H0390675 U JPH0390675 U JP H0390675U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- forming
- air flow
- spin coating
- coating apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図ａとｂは、本考案の実施例であるスピン
コート装置を示す各々側面断面図と平面図、第２
図ａとｂは前記本考案のスピンコート装置におけ
る基板のコーナー部に対する空気の流れの相対的
な乱れ示す説明図、第３図は従来のスピンコート
装置における基板のコーナー部に対する空気の相
対的な流れを説明するための説明図、第４図は従
来のスピンコート装置で形成された基板のコーテ
イング状態を示す基板の平面図である。 １０……基板、１１……基板の側面、２０……
円筒形の本体、２１……排気口、２２……ブロワ
、２３……クランパ、２４……スピンドル、２５
……モータ。
コート装置を示す各々側面断面図と平面図、第２
図ａとｂは前記本考案のスピンコート装置におけ
る基板のコーナー部に対する空気の流れの相対的
な乱れ示す説明図、第３図は従来のスピンコート
装置における基板のコーナー部に対する空気の相
対的な流れを説明するための説明図、第４図は従
来のスピンコート装置で形成された基板のコーテ
イング状態を示す基板の平面図である。 １０……基板、１１……基板の側面、２０……
円筒形の本体、２１……排気口、２２……ブロワ
、２３……クランパ、２４……スピンドル、２５
……モータ。
Claims (1)
- 基板を高速で回転させる手段と、同基板に塗膜
を形成する材料が含まれた塗料を供給する手段と
を備えるスピンコート装置において、前記基板の
コート面からその裏面へと、同基板の厚さ方向に
流れる空気流を形成する空気流形成手段を備えた
ことを特徴とするスピンコート装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15085889U JPH0390675U (ja) | 1989-12-30 | 1989-12-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15085889U JPH0390675U (ja) | 1989-12-30 | 1989-12-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0390675U true JPH0390675U (ja) | 1991-09-17 |
Family
ID=31697190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15085889U Pending JPH0390675U (ja) | 1989-12-30 | 1989-12-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0390675U (ja) |
-
1989
- 1989-12-30 JP JP15085889U patent/JPH0390675U/ja active Pending
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