JPS5897835U - スピンナコ−タ− - Google Patents
スピンナコ−タ−Info
- Publication number
- JPS5897835U JPS5897835U JP19254581U JP19254581U JPS5897835U JP S5897835 U JPS5897835 U JP S5897835U JP 19254581 U JP19254581 U JP 19254581U JP 19254581 U JP19254581 U JP 19254581U JP S5897835 U JPS5897835 U JP S5897835U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spinner coater
- spinner
- coater
- coating material
- abstract
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来法のマスク上面図、第２図は来者
′案の一実施例説明図である。 １・・・クロムマスク、４・・・スピンナコーター、５
・・・回転台、６・・・０リング、７・・・レジスト、
８・・・ノズル、９・・・回転ネジ、１０・・・溶剤。
′案の一実施例説明図である。 １・・・クロムマスク、４・・・スピンナコーター、５
・・・回転台、６・・・０リング、７・・・レジスト、
８・・・ノズル、９・・・回転ネジ、１０・・・溶剤。
Claims (1)
- 被塗布材を回転し塗布剤を均質かつ薄膜にして一塗布す
るスピンナコーターにおいて回転中心から距離移動可能
なノズルを設は塗布剤の溶媒を滴下または噴射可能なら
しめたスピンナコーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19254581U JPS5897835U (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | スピンナコ−タ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19254581U JPS5897835U (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | スピンナコ−タ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897835U true JPS5897835U (ja) | 1983-07-02 |
Family
ID=30105951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19254581U Pending JPS5897835U (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | スピンナコ−タ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897835U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07302745A (ja) * | 1994-05-10 | 1995-11-14 | Hitachi Ltd | 塗布方法および装置 |
| JP2007096095A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | レジスト塗布方法 |
-
1981
- 1981-12-25 JP JP19254581U patent/JPS5897835U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07302745A (ja) * | 1994-05-10 | 1995-11-14 | Hitachi Ltd | 塗布方法および装置 |
| JP2007096095A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | レジスト塗布方法 |
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