JPS5858335U - スピンコ−タ - Google Patents
スピンコ−タInfo
- Publication number
- JPS5858335U JPS5858335U JP15352581U JP15352581U JPS5858335U JP S5858335 U JPS5858335 U JP S5858335U JP 15352581 U JP15352581 U JP 15352581U JP 15352581 U JP15352581 U JP 15352581U JP S5858335 U JPS5858335 U JP S5858335U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spin coater
- featuring
- absorbing
- holds
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のスピンコータの断面図、第２図は本考案
の一実施例の断面図、第３図は本発明の一実施例の平面
図である。 １・・・・・・ウェーハ、２・・・・・・回転支示台、
３・・・・・・モータ、４・・・・・・支持材、５・・
・・・・飛散液捕捉板。
の一実施例の断面図、第３図は本発明の一実施例の平面
図である。 １・・・・・・ウェーハ、２・・・・・・回転支示台、
３・・・・・・モータ、４・・・・・・支持材、５・・
・・・・飛散液捕捉板。
Claims (1)
- 塗布剤が適下された被塗布材を保持し、高速で回転する
回転支持台の位置よりも上部に、外周がスピンコータの
内壁に接し、略リング状で吸水性ある飛散液捕捉板を有
することを特徴とするスピンコータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15352581U JPS5858335U (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | スピンコ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15352581U JPS5858335U (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | スピンコ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5858335U true JPS5858335U (ja) | 1983-04-20 |
Family
ID=29946138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15352581U Pending JPS5858335U (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | スピンコ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5858335U (ja) |
-
1981
- 1981-10-16 JP JP15352581U patent/JPS5858335U/ja active Pending
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