JPS618480U - 回転塗布装置 - Google Patents

回転塗布装置

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JPS618480U
JPS618480U JP1984090515U JP9051584U JPS618480U JP S618480 U JPS618480 U JP S618480U JP 1984090515 U JP1984090515 U JP 1984090515U JP 9051584 U JP9051584 U JP 9051584U JP S618480 U JPS618480 U JP S618480U
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JP
Japan
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coating device
outer enclosure
cover
rotary coating
coating
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JP1984090515U
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JPS63382Y2 (ja
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雅央 大滝
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第２図は、従来の回転塗布装置の一実施使用例の平面図
であり、第９図は、第２図のＡ−Ａ線に依る同断面図で
ある。 第４図は、本考案に係る一実施使用例の平面図であり、
第１図は、第４図のＢ−Ｂ線に依る同断面図を表わす。 第５図は、横軸が半径距離を、縦軸は流動性塗布体厚さ
を表すグラフである。 １：塗布台、２：覆、３：外囲、４：排気口、５：連結
棒、６：駆動棒、７：駆動棒用開口部、８：近接部、１
１：被塗布体、Ａ：従来の回転塗布装置に依る塗布曲線
、Ｂ：本考案の回転塗布装置に依る塗布曲線。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 固定゜してある略円筒形の外囲と、前記外囲内部の回転
    可能な塗布台を有する回転塗布装置に於いて、前記外囲
    の上面中央部のみ塗布台と同期回転する覆を前記外囲の
    代りに用い、且つ前記覆に前記塗布台上に乗せるべき被
    塗布体と略近似形の開口部を有し、且つ残部の外囲と前
    記覆が近接部に於いて間隙がほとんど無い事を特徴とす
    る回転塗布装置。
JP1984090515U 1984-06-18 1984-06-18 回転塗布装置 Granted JPS618480U (ja)

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JP1984090515U JPS618480U (ja) 1984-06-18 1984-06-18 回転塗布装置

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JP1984090515U JPS618480U (ja) 1984-06-18 1984-06-18 回転塗布装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS618480U true JPS618480U (ja) 1986-01-18
JPS63382Y2 JPS63382Y2 (ja) 1988-01-07

Family

ID=30645574

Family Applications (1)

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JP1984090515U Granted JPS618480U (ja) 1984-06-18 1984-06-18 回転塗布装置

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JP (1) JPS618480U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015111312A (ja) * 2003-09-29 2015-06-18 Hoya株式会社 マスクブランク及び転写マスクの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015111312A (ja) * 2003-09-29 2015-06-18 Hoya株式会社 マスクブランク及び転写マスクの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63382Y2 (ja) 1988-01-07

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