JPS63382Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、回転に依る被塗布体の流動性塗布体
の塗布を均一ならしめる回転塗布装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の回転塗布装置の実施例の一つを図を用い
て詳細に説明する。

第２図は、従来の回転塗布装置に係る一実施例
の塗布中に於ける平面図であり、第３図は、第２
図のＡ−Ａ線に依る断面図である。

被塗布体１１上面に流動性塗布体が乗つてい
る。被塗布体１１は塗布台１上に密接されてい
る。更に塗布台１は駆動棒６と結合している。外
囲３の下面中央部には駆動棒用開口部７が有りか
つ駆動棒６が嵌めてあり、間隙がほとんど無くか
つ摩擦がほとんど無い。また、外囲３の下面には
排気口４が有る。更に、外囲３上面には開口部９
が有る。塗布中は、被塗布体１１と塗布台１と駆
動棒６が共に回転し、被塗布体１１上で流動性塗
布体を略均一に塗布できる。

因みに、排気口より空気を吸引し開口部より空
気を吸入する事により基板外周から飛散した流動
性塗布体の再付着を防止し更に均一に塗布させる
技術は公知である。

〔本考案が解決しようとする問題点〕

従来の空気を入れる為の開口部は、回転する塗
布台とは独立した外囲に連結されていた。被塗布
体は一般には円形でない為被塗布体上の流動性塗
布体は被途布体の回転による遠心力の為外周部へ
向かつて流動する。外周部へ流動する流動性塗布
体の円周方向の速度は被塗布体中央付近と外周部
では大きく変化しないが被塗布体は外周部の円周
方向の速度が中央付近よりも速い。この為流動性
塗布体が回転より遅れ、被塗布体の直後部の突端
部に捕えられて再付着しその部分の膜厚が厚くな
つた。

〔問題点を解決する為の手段〕

排気口より、空気が排気されている状態におい
て被塗布体と同期回転する覆を設置する。但し、
前記覆の被塗布体上部には被塗布体上部には被塗
布体と略近似形の開口部があり、且つ前記覆は外
囲と略無間隙である特徴がある。これにより前記
開口部に於ける開口形状と、被塗布体との相対運
動をなくし、空気の乱流を押えた。更に被塗布台
外周部と前記覆との間隙のみを空気が高速で流れ
るようにした。

〔作用〕

空気の入る断面の時間的変化が無く、また空気
の入る断面も被塗布体と開口部が相似形の為、空
気の流れが円滑で、且つ基板端部において局所的
に高速で空気が排気されている為、基板端部に集
まつた流動性塗布体は、空気の流れに沿つて飛散
し、流動性塗布体の再付着が無くなる。

〔実施例〕

本考案の実施例の一つを図を用いて詳述する。

第４図は、本考案に係る回転塗布装置の一実施
例の使用平面図であり、第１図は第４図のＢ−Ｂ
線に於ける断面図である。

本実施例に於ける回転塗布装置は、塗布台１，
覆２，外囲３，連結棒５，駆動棒６依り成つてい
る。塗布台１上には被塗布体１１を乗せて密着さ
せる。塗布台１は駆動棒６と連結しており、覆２
も連結棒５を介して駆動棒６と連結している。回
転させるときは、塗布台１と覆２と連結棒５と駆
動棒６は連結している為必ず同期回転する。駆動
棒６は外囲３の駆動棒用開口部７を突き抜けて外
囲３の外部依りの回転を伝達する。外囲３は、略
円筒形をなしており、円筒上面中央部がなく、代
りに覆２に依り覆われている。覆２と外囲３の近
接部８では覆２と外囲３が間隙がほとんど無く且
つ摩擦がほとんど無い。覆２の更に中央部には開
口部が有り、外囲３の下部には排気口４が有る。

因みに、被塗布体１１と塗布台１と覆２が同期
回転していれば連結の有無は問わない。

被塗布体１１の形状は一般に問わないが、本実
施例の場合は方形の平板である。流動性塗布体は
流動性の有るもので、各々塗布の目的に合致した
ものとする。本実施例では塗布の目的をレジスト
としている為、目的に合致して尚かつ流動性の有
するAZ1350（西独ヘキスト社製）を流動性塗布体
として用いている。

覆２の開口部は、被塗布体１と垂直上部に１〜
30mm離す。尚、本実施例に於いては５mm離した。

また、覆２の開口部の形状は被塗布体１１と略
近似形であり、且つ端部の水平間隙が出入40mm以
内にする。尚、本実施例に於いては開口部が被塗
布体１１依り端部の水平間隙にして10mm拡大され
た形状である。

この様な覆２の開口部の形状及び位置について
は、空気の流れの適量化並びに流れの定常化の為
の制限である。この制限依り開口部が広過ぎると
流れが緩慢となり流動性塗布体の再付着が起こ
り、またこの制限依り開口部が狭過ぎると流れが
急となり均一な塗布が出来なくなる。

連結棒５は空気の流れを妨げない部位に有る。

塗布中は、被塗布体１１と塗布台１と覆２と連
結棒５と駆動棒６が同期回転しており、且つ覆２
の開口部依り空気を入れ、外囲３の排気口４依り
出る。但し、空気流量は0.1〜100l／minとする。

〔考案の効果〕

流動性塗布体の再付着がない為、従来再付着が
有つた被塗布体の部位の流動性塗布体の膜厚が盛
り上りがなくなり、依つて塗布後の被塗布体上の
流動性塗布体の膜厚が略一定となる。

以下、本考案に係る効果を表わした図に基いて
詳細に説明する。

塗布後の被塗布体上の回転半径に依る流動性塗
布体の分布図を第５図に示す。

但し、Ａは従来の回転塗布装置を用いて塗布し
たときの流動性塗布体の分布曲線を、Ｂは本考案
に係る回転塗布装置を用いて塗布したときの流動
性塗布体の分布曲線を示す。

尚、実験条件は、流動性塗布体としてAZ1350
（西独ヘキスト社製）を用いて2000rpmにて長時
間塗布した後、エリプソメータによる塗布膜厚の
測定を行なつたものである。

第５図に表わされる様に、従来の回転塗布装置
で塗布の場合は周辺ほど厚みが増し、辺では極端
なほど流動性塗布体が有る事を示している。それ
に比して本考案の回転塗布装置で塗布の場合は周
辺に到る迄略一定の塗布である事が読み取れる。
この対比に依り流動性塗布体の膜厚の一定性は改
善された事が判る。

【図面の簡単な説明】

第２図は、従来の回転塗布装置の一実施例使用
例の平面図であり、第３図は、第２図のＡ−Ａ線
に依る同断面図である。第４図は、本考案に係る
一実施例使用例の平面図であり、第１図は、第４
図のＢ−Ｂ線に依る同断面図を表わす。第５図
は、横軸が半径距離を、縦軸は流動性塗布体厚さ
を表わすグラフである。 １……塗布台、２……覆、３……外囲、４……
排気口、５……連結棒、６……駆動棒、７……駆
動棒用開口部、８……近接部、１１……被塗布
体、Ａ……従来の回転塗布装置に依る塗布曲線、
Ｂ……本考案の回転塗布装置に依る塗布曲線。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 固定してある略円筒形の外囲と、前記外囲内部
   の回転可能な塗布台を有する回転塗布装置に於い
   て、前記外囲の上面中央部のみ塗布台と同期回転
   する覆を前記外囲の代りに用い、且つ前記覆に前
   記塗布台上に乗せるべき被塗布体と略近似形の開
   口部を有し、且つ残部の外囲と前記覆が近接部に
   於いて間隙がほとんど無い事を特徴とする回転塗
   布装置。