JPH0343728U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0343728U JPH0343728U JP10548889U JP10548889U JPH0343728U JP H0343728 U JPH0343728 U JP H0343728U JP 10548889 U JP10548889 U JP 10548889U JP 10548889 U JP10548889 U JP 10548889U JP H0343728 U JPH0343728 U JP H0343728U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spinner
- wafer
- cover
- rotates
- corresponds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims 1
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- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図１，２は本考案の一実施例による回転塗
布装置の断面図と平面図、第２図はガイド溝（又
は突起）の断面形状の一例を示す図、第３図は従
来例による回転塗布装置の断面図である。 図において、１……塗布材滴下口、２……スピ
ナ、３Ａ……カバー、４……ウエハ、５……ガイ
ド溝（又は突起）、である。
布装置の断面図と平面図、第２図はガイド溝（又
は突起）の断面形状の一例を示す図、第３図は従
来例による回転塗布装置の断面図である。 図において、１……塗布材滴下口、２……スピ
ナ、３Ａ……カバー、４……ウエハ、５……ガイ
ド溝（又は突起）、である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 塗布材滴下口とスピナとカバーとを有し、 塗布材滴下口はウエハ上に塗布材を滴下するも
のであり、 スピナはウエハをその上に保持して所望の塗布
膜厚に応じた回転数で回転するものであり、 カバーはウエハ上に滴下されたレジストの一部
が遠心力によりウエハ外へ飛散するのを遮蔽する
ものであり、円錐状をなしてウエハの周囲に設け
られ、その内面に、スピナの回転方向に対して鋭
角をなす方向に放射状のガイド溝が形成されてい
ることを特徴とする回転塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10548889U JPH0343728U (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10548889U JPH0343728U (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0343728U true JPH0343728U (ja) | 1991-04-24 |
Family
ID=31654249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10548889U Pending JPH0343728U (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0343728U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018026477A (ja) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP10548889U patent/JPH0343728U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018026477A (ja) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
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