JPH06320100A - スピンコーター - Google Patents
スピンコーターInfo
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- JPH06320100A JPH06320100A JP11580493A JP11580493A JPH06320100A JP H06320100 A JPH06320100 A JP H06320100A JP 11580493 A JP11580493 A JP 11580493A JP 11580493 A JP11580493 A JP 11580493A JP H06320100 A JPH06320100 A JP H06320100A
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- JP
- Japan
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- turntable
- wall portion
- disk
- wall
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ディスクの表面に乾燥固化性液状物を均一に
塗布するスピンコーターにおいて、ディスクの表面から
離れた液状物がディスク表面のコーティング面に再付着
することを、防止する。 【構成】 ターンテーブルの上部を開口させて、ターン
テーブルとその回転駆動部の周囲を覆っている外壁部の
開口部内縁に鍔部を形成するか、ターンテーブルを下方
に向かって拡幅する円錐台状に構成する。また、これら
を同時に実現する。
塗布するスピンコーターにおいて、ディスクの表面から
離れた液状物がディスク表面のコーティング面に再付着
することを、防止する。 【構成】 ターンテーブルの上部を開口させて、ターン
テーブルとその回転駆動部の周囲を覆っている外壁部の
開口部内縁に鍔部を形成するか、ターンテーブルを下方
に向かって拡幅する円錐台状に構成する。また、これら
を同時に実現する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ディスク表面に液状物
を均一に塗布するスピンコーターに関するものであり、
さらに詳しくは、塗布液状物の余剰分がディスク表面に
再付着するのを防止し、生産性を向上することのできる
スピンコーターに関するものである。
を均一に塗布するスピンコーターに関するものであり、
さらに詳しくは、塗布液状物の余剰分がディスク表面に
再付着するのを防止し、生産性を向上することのできる
スピンコーターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のスピンコーターとしては、図４お
よび図５に概略側断面図で示す構造のものが知られてい
る。
よび図５に概略側断面図で示す構造のものが知られてい
る。
【０００３】図４において、符号１は、水平に置かれた
ターンテーブルである。このターンテーブル１は、その
上面にディスク２を載置、固定できるようになってお
り、その回転駆動は、その下部に連結されている回転軸
やモータ等からなる回転駆動部３により行なわれる。こ
の回転駆動部３の外周には、内壁部４が該回転駆動部３
を覆うように設置されている。この内壁部４は、前記タ
ーンテーブル１の水平な底面に平行な頂面部４ａと、こ
の頂面部４ａから拡幅しながら下方に向かう傾斜側壁部
４ｂと、この傾斜側壁部４ｂから垂直に立ち下がる垂直
側壁部４ｃとからなり、これら壁部は一体的に形成され
ている。この内壁部４の外周には、間隔を空けて外壁部
５が内壁部４を覆うように設置されている。この内壁部
５は、前記内壁部４の傾斜側壁部４ｂに平行な傾斜側壁
部５ａと、この傾斜側壁部５ａから垂直に立ち下がる垂
直側壁部５ｂとからなり、これら壁部は一体的に形成さ
れている。また、外壁部５の上部は、前記ディスク２の
上面を上方に露出するために開口されて、開口部６を形
成している。前記内壁部４と外壁部５との間は、前記し
たように間隔が空けられており、図示していない吸引装
置に連通する排気路７を構成している。さらに、前記タ
ーンテーブル１の上方中央寄りには、前記ディスク２の
表面中央に乾燥固化性液状物Ｍを滴下するノズル８が設
置されている。
ターンテーブルである。このターンテーブル１は、その
上面にディスク２を載置、固定できるようになってお
り、その回転駆動は、その下部に連結されている回転軸
やモータ等からなる回転駆動部３により行なわれる。こ
の回転駆動部３の外周には、内壁部４が該回転駆動部３
を覆うように設置されている。この内壁部４は、前記タ
ーンテーブル１の水平な底面に平行な頂面部４ａと、こ
の頂面部４ａから拡幅しながら下方に向かう傾斜側壁部
４ｂと、この傾斜側壁部４ｂから垂直に立ち下がる垂直
側壁部４ｃとからなり、これら壁部は一体的に形成され
ている。この内壁部４の外周には、間隔を空けて外壁部
５が内壁部４を覆うように設置されている。この内壁部
５は、前記内壁部４の傾斜側壁部４ｂに平行な傾斜側壁
部５ａと、この傾斜側壁部５ａから垂直に立ち下がる垂
直側壁部５ｂとからなり、これら壁部は一体的に形成さ
れている。また、外壁部５の上部は、前記ディスク２の
上面を上方に露出するために開口されて、開口部６を形
成している。前記内壁部４と外壁部５との間は、前記し
たように間隔が空けられており、図示していない吸引装
置に連通する排気路７を構成している。さらに、前記タ
ーンテーブル１の上方中央寄りには、前記ディスク２の
表面中央に乾燥固化性液状物Ｍを滴下するノズル８が設
置されている。
【０００４】図５のスピンコーターは、前記図４に示し
たスピンコーターとほぼ同じ構造であるが、内壁部４の
頂面部４ａ1 を円板状のターンテーブル１の側面および
底面にほぼ合致する凹状にした点が異なる。その結果、
このスピンコーターにおいて、円板状のターンテーブル
１の側方には、内壁部４の頂面部４ａ1 の断面三角形の
突壁部Ｗが囲撓する構造となっている。
たスピンコーターとほぼ同じ構造であるが、内壁部４の
頂面部４ａ1 を円板状のターンテーブル１の側面および
底面にほぼ合致する凹状にした点が異なる。その結果、
このスピンコーターにおいて、円板状のターンテーブル
１の側方には、内壁部４の頂面部４ａ1 の断面三角形の
突壁部Ｗが囲撓する構造となっている。
【０００５】前記各構成のスピンコーターでディスク２
のコーティングをする場合は、まず、ターンテーブル１
上にディスク２を載置、固定し、低速で回転させる。次
に、この状態でノズル８から適量の乾燥固化性液状物を
ディスク２の表面ほぼ中央に滴下する。滴下が終了した
ら、続けて、ターンテーブル１を高速回転（約３００〜
４０００ｒｐｍ）させる。これによって、ディスク２表
面中央に滴下された液状物は、ディスク２の周縁に向け
て表面上を均一に拡がる。
のコーティングをする場合は、まず、ターンテーブル１
上にディスク２を載置、固定し、低速で回転させる。次
に、この状態でノズル８から適量の乾燥固化性液状物を
ディスク２の表面ほぼ中央に滴下する。滴下が終了した
ら、続けて、ターンテーブル１を高速回転（約３００〜
４０００ｒｐｍ）させる。これによって、ディスク２表
面中央に滴下された液状物は、ディスク２の周縁に向け
て表面上を均一に拡がる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記図
４の従来構成では、ディスク２の高速回転下でノズル８
から滴下された液状物Ｍをディスク２に遠心塗布する時
には、ターンテーブル１とディスク２の高速回転によっ
て、排気路７内のターンテーブル１の外周縁近傍に、排
気路７の内壁面に沿った上昇乱気流が発生する。この乱
気流によりディスク上面から乾燥固化性液状物の一部が
舞い上がり、その後、舞い上がり分が再びディスク表面
に落下する現象が生じる。その結果、遠心塗布分以外の
余分な乾燥固化性液状物が、ディスク２の表面に、均一
不均一両状態で、多層に付着してしまう。その結果、デ
ィスク２の塗布層表面に、図６および図７の（ａ），
（ｂ）に塗布済のディスクの平面図および該ディスクの
側断面で示すような、帯状欠陥ｄ１や、泡状陥没ｄ２が
生じ、ディスク２表面の塗布膜厚分布を悪化させてしま
う。
４の従来構成では、ディスク２の高速回転下でノズル８
から滴下された液状物Ｍをディスク２に遠心塗布する時
には、ターンテーブル１とディスク２の高速回転によっ
て、排気路７内のターンテーブル１の外周縁近傍に、排
気路７の内壁面に沿った上昇乱気流が発生する。この乱
気流によりディスク上面から乾燥固化性液状物の一部が
舞い上がり、その後、舞い上がり分が再びディスク表面
に落下する現象が生じる。その結果、遠心塗布分以外の
余分な乾燥固化性液状物が、ディスク２の表面に、均一
不均一両状態で、多層に付着してしまう。その結果、デ
ィスク２の塗布層表面に、図６および図７の（ａ），
（ｂ）に塗布済のディスクの平面図および該ディスクの
側断面で示すような、帯状欠陥ｄ１や、泡状陥没ｄ２が
生じ、ディスク２表面の塗布膜厚分布を悪化させてしま
う。
【０００７】また、前記図５の従来構成では、円板状タ
ーンテーブル１の外縁部には、前記したように、突壁部
Ｗが形成されており、この部分での乱気流の発生を抑制
しているが、この突壁部Ｗとターンテーブル１の外縁部
との間で小さな乱気流が形成されるため、やはり、ディ
スク２の外縁部近傍で、乾燥固化性液状物Ｍの一部が舞
い上がり、その後、舞い上がり分がディスク２表面に落
下して前記図４の装置と同様の問題を生じる。
ーンテーブル１の外縁部には、前記したように、突壁部
Ｗが形成されており、この部分での乱気流の発生を抑制
しているが、この突壁部Ｗとターンテーブル１の外縁部
との間で小さな乱気流が形成されるため、やはり、ディ
スク２の外縁部近傍で、乾燥固化性液状物Ｍの一部が舞
い上がり、その後、舞い上がり分がディスク２表面に落
下して前記図４の装置と同様の問題を生じる。
【０００８】さらに、この図５の装置では、乱気流を低
減させる目的で形成した突壁部Ｗと円板状ターンテーブ
ル１の外縁部との間の間隙から内壁部４の凹状頂面部４
ａ1に液状物Ｍが浸入しやすく、浸入した乾燥固化性液
状物Ｍがターンテーブル１の回転軸周辺で固化して、タ
ーンテーブル１の動作を阻害する、という問題点が生じ
ていた。
減させる目的で形成した突壁部Ｗと円板状ターンテーブ
ル１の外縁部との間の間隙から内壁部４の凹状頂面部４
ａ1に液状物Ｍが浸入しやすく、浸入した乾燥固化性液
状物Ｍがターンテーブル１の回転軸周辺で固化して、タ
ーンテーブル１の動作を阻害する、という問題点が生じ
ていた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のスピンコーター
の第１の構成は、上記問題点を解決するために、ディス
クを載置固定し、該ディスク上に乾燥固化性液状物が滴
下される時に低速回転し、その後、高速回転して前記デ
ィスク表面上に乾燥固化性液状物を均一に塗布する水平
なターンテーブルと、前記ターンテーブルの下部に位置
し、該ターンテーブルを回転駆動する回転駆動部と、前
記回転駆動部を前記乾燥固化性液状物から保護するため
に前記ターンテーブルの下部に前記回転駆動部を覆うよ
うに設置された内壁部と、前記内壁部との間に排気路を
形成するために前記内壁部の外周に間隔を置いて設置さ
れるとともに、その上部に前記ディスクの表面を上方に
露出するための開口部が形成されている外壁部とを有
し、前記外壁部の上部開口部の内縁部に下方に延出する
鍔部が形成されていることを特徴とするスピンコータ
ー。
の第１の構成は、上記問題点を解決するために、ディス
クを載置固定し、該ディスク上に乾燥固化性液状物が滴
下される時に低速回転し、その後、高速回転して前記デ
ィスク表面上に乾燥固化性液状物を均一に塗布する水平
なターンテーブルと、前記ターンテーブルの下部に位置
し、該ターンテーブルを回転駆動する回転駆動部と、前
記回転駆動部を前記乾燥固化性液状物から保護するため
に前記ターンテーブルの下部に前記回転駆動部を覆うよ
うに設置された内壁部と、前記内壁部との間に排気路を
形成するために前記内壁部の外周に間隔を置いて設置さ
れるとともに、その上部に前記ディスクの表面を上方に
露出するための開口部が形成されている外壁部とを有
し、前記外壁部の上部開口部の内縁部に下方に延出する
鍔部が形成されていることを特徴とするスピンコータ
ー。
【００１０】この構成において、ターンテーブルを底部
に向かって拡幅する円錐台状に形成してもよい。さら
に、前記ターンテーブルの底部を内側に向かって凹状に
形成するとともに、前記内壁部の頂面を前記ターンテー
ブルの凹状底部にほぼ合致する凸状に形成してもよい。
に向かって拡幅する円錐台状に形成してもよい。さら
に、前記ターンテーブルの底部を内側に向かって凹状に
形成するとともに、前記内壁部の頂面を前記ターンテー
ブルの凹状底部にほぼ合致する凸状に形成してもよい。
【００１１】また、前記従来の問題点を解決するため
に、本発明のスピンコーターの第２の構成は、ディスク
を載置固定し、該ディスク上に乾燥固化性液状物が滴下
される時に低速回転し、その後、高速回転して前記ディ
スク表面上に乾燥固化性液状物を均一に塗布する水平な
ターンテーブルと、前記ターンテーブルの下部に位置
し、該ターンテーブルを回転駆動する回転駆動部と、前
記回転駆動部を前記乾燥固化性液状物から保護するため
に前記ターンテーブルの下部に前記回転駆動部を覆うよ
うに設置された内壁部と、前記内壁部との間に排気路を
形成するために前記内壁部の外周に間隔を置いて設置さ
れるとともに、その上部に前記ディスクの表面を上方に
露出するための開口部が形成されている外壁部とを有
し、前記ターンテーブルが底部に向かって拡幅する円錐
台状に形成されていることを特徴とするスピンコータ
ー。
に、本発明のスピンコーターの第２の構成は、ディスク
を載置固定し、該ディスク上に乾燥固化性液状物が滴下
される時に低速回転し、その後、高速回転して前記ディ
スク表面上に乾燥固化性液状物を均一に塗布する水平な
ターンテーブルと、前記ターンテーブルの下部に位置
し、該ターンテーブルを回転駆動する回転駆動部と、前
記回転駆動部を前記乾燥固化性液状物から保護するため
に前記ターンテーブルの下部に前記回転駆動部を覆うよ
うに設置された内壁部と、前記内壁部との間に排気路を
形成するために前記内壁部の外周に間隔を置いて設置さ
れるとともに、その上部に前記ディスクの表面を上方に
露出するための開口部が形成されている外壁部とを有
し、前記ターンテーブルが底部に向かって拡幅する円錐
台状に形成されていることを特徴とするスピンコータ
ー。
【００１２】この構成において、ターンテーブルの底部
を内側に向かって凹状に形成するとともに、前記内壁部
の頂面を前記ターンテーブルの凹状底部にほぼ合致する
凸状に形成してよい。
を内側に向かって凹状に形成するとともに、前記内壁部
の頂面を前記ターンテーブルの凹状底部にほぼ合致する
凸状に形成してよい。
【００１３】
【作用】前記第１の構成によれば、排気路内のターンテ
ーブル外縁部近傍の乱気流によって舞い上がる液状物
は、外壁部の上部開口部の内縁に設けられた鍔部によっ
て遮られ、この鍔部に付着するので、コーティング中の
ディスク表面にまで至ることがない。
ーブル外縁部近傍の乱気流によって舞い上がる液状物
は、外壁部の上部開口部の内縁に設けられた鍔部によっ
て遮られ、この鍔部に付着するので、コーティング中の
ディスク表面にまで至ることがない。
【００１４】前記第２の構成によれば、ターンテーブル
の外縁部が傾斜しており、その傾斜面は、内壁部の傾斜
した外側面に傾斜方向が連続しているので、排気路内の
ターンテーブル外縁部近傍に発生する乱気流を極く低く
抑えることができ、ディスク表面から液状物が巻き上が
ることがない。さらに、ターンテーブルの高速回転によ
りターンテーブルの外方に向かう液状物は、ターンテー
ブルの傾斜外縁部の傾斜に沿ってさらに外向きの分力を
与えられることと、ターンテーブルと内壁部との間隙が
水平となっていることとから、ターンテーブルの回転駆
動部に浸入することがない。
の外縁部が傾斜しており、その傾斜面は、内壁部の傾斜
した外側面に傾斜方向が連続しているので、排気路内の
ターンテーブル外縁部近傍に発生する乱気流を極く低く
抑えることができ、ディスク表面から液状物が巻き上が
ることがない。さらに、ターンテーブルの高速回転によ
りターンテーブルの外方に向かう液状物は、ターンテー
ブルの傾斜外縁部の傾斜に沿ってさらに外向きの分力を
与えられることと、ターンテーブルと内壁部との間隙が
水平となっていることとから、ターンテーブルの回転駆
動部に浸入することがない。
【００１５】前記第１の構成と第２の構成は、同時に一
つのスピンコーター上に実現することができ、そのよう
にすれば、スピンコーターの生産性をより一層向上させ
ることができる。
つのスピンコーター上に実現することができ、そのよう
にすれば、スピンコーターの生産性をより一層向上させ
ることができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
【００１７】（実施例１）図１は、本発明のスピンコー
ターの第１の実施例を示す概略側断面図であり、図中、
同一構成要素には同一符号を付して説明を簡略化する。
ターの第１の実施例を示す概略側断面図であり、図中、
同一構成要素には同一符号を付して説明を簡略化する。
【００１８】本実施例のスピンコーターは、図４に示し
た従来のスピンコーターとほぼ同じ構造であるが、外壁
部５の上部開口部６の内縁部に下方に延出する鍔部１０
が内縁に沿って連続して形成されていることが、異なっ
ている。この鍔部１０は外壁部５と同じ材質でよく、例
えば、ステンレス、テフロン、または塩化ビニル樹脂で
ある。
た従来のスピンコーターとほぼ同じ構造であるが、外壁
部５の上部開口部６の内縁部に下方に延出する鍔部１０
が内縁に沿って連続して形成されていることが、異なっ
ている。この鍔部１０は外壁部５と同じ材質でよく、例
えば、ステンレス、テフロン、または塩化ビニル樹脂で
ある。
【００１９】この構成によれば、排気路７内のターンテ
ーブル１の外縁部近傍の乱気流によって舞い上がる液状
物Ｍは、外壁部５の上部開口部６の内縁に設けられた鍔
部１０によって遮られ、この鍔部１０に付着する。した
がって、乱気流によって舞い上がった液状物Ｍは、コー
ティング中のディスク２のコーティング表面にまで至る
ことがない。
ーブル１の外縁部近傍の乱気流によって舞い上がる液状
物Ｍは、外壁部５の上部開口部６の内縁に設けられた鍔
部１０によって遮られ、この鍔部１０に付着する。した
がって、乱気流によって舞い上がった液状物Ｍは、コー
ティング中のディスク２のコーティング表面にまで至る
ことがない。
【００２０】（実施例２）図２は、本発明のスピンコー
ターの第２の実施例を示す概略側断面図であり、図中、
同一構成要素には同一符号を付して説明を簡略化する。
ターの第２の実施例を示す概略側断面図であり、図中、
同一構成要素には同一符号を付して説明を簡略化する。
【００２１】本実施例のスピンコーターは、図４に示し
た従来のスピンコーターとほぼ同じ構造であるが、ター
ンテーブル１の外側部１ａが下方に向かって拡幅するよ
うに、傾斜して形成されていることが、異なっている。
この外側部１ａの傾斜角は、内壁部４の傾斜側壁部４ｂ
の傾斜角とほぼ同じに設定されており、外側部１ａの外
表面と、傾斜側壁部４ｂの外表面とは、ほぼ面一となっ
ている。
た従来のスピンコーターとほぼ同じ構造であるが、ター
ンテーブル１の外側部１ａが下方に向かって拡幅するよ
うに、傾斜して形成されていることが、異なっている。
この外側部１ａの傾斜角は、内壁部４の傾斜側壁部４ｂ
の傾斜角とほぼ同じに設定されており、外側部１ａの外
表面と、傾斜側壁部４ｂの外表面とは、ほぼ面一となっ
ている。
【００２２】この構成によれば、ターンテーブル１の外
側部１ａが下方に向かって拡幅するように傾斜してお
り、その傾斜表面は、内壁部４の傾斜した外表面に傾斜
方向が連続しているので、排気路７内のターンテーブル
１の外縁部近傍に発生する乱気流を極く低く抑えること
ができる。その結果、ディスク２表面から液状物Ｍが巻
き上がることがない。
側部１ａが下方に向かって拡幅するように傾斜してお
り、その傾斜表面は、内壁部４の傾斜した外表面に傾斜
方向が連続しているので、排気路７内のターンテーブル
１の外縁部近傍に発生する乱気流を極く低く抑えること
ができる。その結果、ディスク２表面から液状物Ｍが巻
き上がることがない。
【００２３】さらに、本第２の実施例の構成によれば、
ターンテーブル１の高速回転によりターンテーブル１の
外方に向かう液状物Ｍは、ターンテーブル１の傾斜外縁
部の傾斜に沿ってさらに外向きの分力を与えられること
と、ターンテーブル１と内壁部４との間隙が水平となっ
ていることとから、ターンテーブル１の回転駆動部３に
浸入することがない。したがって、図５に示した従来の
スピンコーターで発生していたような回転駆動部３の故
障は、本実施例のスピンコーターでは発生しない。
ターンテーブル１の高速回転によりターンテーブル１の
外方に向かう液状物Ｍは、ターンテーブル１の傾斜外縁
部の傾斜に沿ってさらに外向きの分力を与えられること
と、ターンテーブル１と内壁部４との間隙が水平となっ
ていることとから、ターンテーブル１の回転駆動部３に
浸入することがない。したがって、図５に示した従来の
スピンコーターで発生していたような回転駆動部３の故
障は、本実施例のスピンコーターでは発生しない。
【００２４】なお、前記第１の実施例と第２の実施例と
は、同時に一つのスピンコーター上に実現することがで
き、そのようにすれば、スピンコーターの生産性をより
一層向上させることができる。
は、同時に一つのスピンコーター上に実現することがで
き、そのようにすれば、スピンコーターの生産性をより
一層向上させることができる。
【００２５】（実施例３）図３に概略側断面図で示すス
ピンコーターは、前記第２の実施例（図２）のスピンコ
ーターをさらに改良したもので、ターンテーブル１の底
面１ｂを凹面に構成するとともに、この凹状底面１ｂに
沿うように、内壁部４の頂面部４ａ2 を凸状に構成した
点が、前記第２の実施例の構成と異なる。
ピンコーターは、前記第２の実施例（図２）のスピンコ
ーターをさらに改良したもので、ターンテーブル１の底
面１ｂを凹面に構成するとともに、この凹状底面１ｂに
沿うように、内壁部４の頂面部４ａ2 を凸状に構成した
点が、前記第２の実施例の構成と異なる。
【００２６】このように、ターンテーブル１の底面１ｂ
を凹状にするとともに、内壁部４の頂面部４ａ2 を凸状
とすることにより、ターンテーブル１と内壁部４との間
隙が一部上方に向かうことになるので、液状物Ｍの回転
駆動部３への浸入を、より一層確実に防止することがで
きる。
を凹状にするとともに、内壁部４の頂面部４ａ2 を凸状
とすることにより、ターンテーブル１と内壁部４との間
隙が一部上方に向かうことになるので、液状物Ｍの回転
駆動部３への浸入を、より一層確実に防止することがで
きる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、外壁部の上部開口
部の内縁に鍔部を設けた構成のスピンコーターでは、排
気路内のターンテーブル外縁部近傍の乱気流によって舞
い上がる液状物は、鍔部によって遮られ、この鍔部に付
着するので、コーティング中のディスク表面にまで至る
ことがない。
部の内縁に鍔部を設けた構成のスピンコーターでは、排
気路内のターンテーブル外縁部近傍の乱気流によって舞
い上がる液状物は、鍔部によって遮られ、この鍔部に付
着するので、コーティング中のディスク表面にまで至る
ことがない。
【００２８】また、ターンテーブルを底部に向かって拡
幅する円錐台状に構成したスピンコーターでは、排気路
内のターンテーブル外縁部近傍に発生する乱気流を極く
低く抑えることができ、ディスク表面から液状物が巻き
上がることがない。
幅する円錐台状に構成したスピンコーターでは、排気路
内のターンテーブル外縁部近傍に発生する乱気流を極く
低く抑えることができ、ディスク表面から液状物が巻き
上がることがない。
【図１】本発明のスピンコーターの第１の実施例を示す
概略側断面図である。
概略側断面図である。
【図２】本発明のスピンコーターの第２の実施例を示す
概略側断面図である。
概略側断面図である。
【図３】本発明のスピンコーターの第３の実施例を示す
概略側断面図である。
概略側断面図である。
【図４】従来のスピンコーターの一例を示す概略側断面
図である。
図である。
【図５】従来のスピンコーターの他の例を示す概略側断
面図である。
面図である。
【図６】従来のスピンコーターのコーティング中にディ
スクのコーティング面に生じる欠陥の一例を示すもの
で、（ａ）はディスクの平面図であり、（ｂ）は該ディ
スクの側断面図である。
スクのコーティング面に生じる欠陥の一例を示すもの
で、（ａ）はディスクの平面図であり、（ｂ）は該ディ
スクの側断面図である。
【図７】従来のスピンコーターのコーティング中にディ
スクのコーティング面に生じる欠陥の他の例を示すもの
で、（ａ）はディスクの平面図であり、（ｂ）は該ディ
スクの側断面図である。
スクのコーティング面に生じる欠陥の他の例を示すもの
で、（ａ）はディスクの平面図であり、（ｂ）は該ディ
スクの側断面図である。
１ ターンテーブル １ｂ ターンテーブルの凹状底面 ２ ディスク ３ ターンテーブルの回転駆動部 ４ 内壁部 ４ａ 頂面部 ４ａ2 凸状頂面部 ４ｂ 傾斜側壁部 ４ｃ 垂直側壁部 ５ 外壁部 ５ａ 傾斜側壁部 ５ｂ 垂直側壁部 ６ 上部開口部 ７ 排気路 ８ 乾燥固化性液状物のノズル １０ 鍔部 Ｍ 乾燥固化性液状物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (2)
- 【請求項１】 ディスクを載置固定し、該ディスク上に
乾燥固化性液状物が滴下される時に低速回転され、その
後、高速回転されて前記ディスク表面上に乾燥固化性液
状物を均一に塗布する水平なターンテーブルと、 前記ターンテーブルの下部に位置し、該ターンテーブル
を回転駆動する回転駆動部と、 前記回転駆動部を前記乾燥固化性液状物から保護するた
めに前記ターンテーブルの下部に前記回転駆動部を覆う
ように設置された内壁部と、 前記内壁部との間に排気路を形成するために前記内壁部
の外周に間隔を置いて設置されるとともに、その上部に
前記ディスクの表面を上方に露出するための開口部が形
成されている外壁部とを有し、 前記外壁部の上部開口部の内縁部に下方に延出する鍔部
が形成されていることを特徴とするスピンコーター。 - 【請求項２】 ディスクを載置固定し、該ディスク上に
乾燥固化性液状物が滴下される時に低速回転され、その
後、高速回転されて前記ディスク表面上に乾燥固化性液
状物を均一に塗布する水平なターンテーブルと、 前記ターンテーブルの下部に位置し、該ターンテーブル
を回転駆動する回転駆動部と、 前記回転駆動部を前記乾燥固化性液状物から保護するた
めに前記ターンテーブルの下部に前記回転駆動部を覆う
ように設置された内壁部と、 前記内壁部との間に排気路を形成するために前記内壁部
の外周に間隔を置いて設置されるとともに、その上部に
前記ディスクの表面を上方に露出するための開口部が形
成されている外壁部とを有し、 前記ターンテーブルが底部に向かって拡幅する円錐台状
に形成されていることを特徴とするスピンコーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11580493A JPH06320100A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | スピンコーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11580493A JPH06320100A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | スピンコーター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06320100A true JPH06320100A (ja) | 1994-11-22 |
Family
ID=14671503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11580493A Pending JPH06320100A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | スピンコーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06320100A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19545573A1 (de) * | 1995-12-07 | 1997-06-12 | Leybold Ag | Vorrichtung zum gleichmäßigen Aufbringen einer Lackschicht auf ein Substrat |
| US6179031B1 (en) * | 1997-10-08 | 2001-01-30 | Leybold Systems Gmbh | Process for the adhesion of a flat plastic substrate in the form of a circular disk to a like second substrate for a digital video disc and apparatus for implementation of the process |
| NL1016728C2 (nl) * | 2000-11-29 | 2002-05-31 | Otb Group Bv | Inrichting voor het aanbrengen van een vloeibare laag op een schijfvormige registratiedrager. |
| EP1656671A1 (en) * | 2003-08-22 | 2006-05-17 | LG Chem. Ltd. | Spin coating apparatus and coated substrate manufactured using the same |
| US7364771B2 (en) | 2003-03-06 | 2008-04-29 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Method and apparatus for production of fluorine-containing polyimide film |
-
1993
- 1993-05-18 JP JP11580493A patent/JPH06320100A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19545573A1 (de) * | 1995-12-07 | 1997-06-12 | Leybold Ag | Vorrichtung zum gleichmäßigen Aufbringen einer Lackschicht auf ein Substrat |
| US6179031B1 (en) * | 1997-10-08 | 2001-01-30 | Leybold Systems Gmbh | Process for the adhesion of a flat plastic substrate in the form of a circular disk to a like second substrate for a digital video disc and apparatus for implementation of the process |
| NL1016728C2 (nl) * | 2000-11-29 | 2002-05-31 | Otb Group Bv | Inrichting voor het aanbrengen van een vloeibare laag op een schijfvormige registratiedrager. |
| WO2002052555A1 (en) * | 2000-11-29 | 2002-07-04 | Otb Group B.V. | Device for applying a liquid layer to a disk-shaped record carrier |
| US7364771B2 (en) | 2003-03-06 | 2008-04-29 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Method and apparatus for production of fluorine-containing polyimide film |
| EP1656671A1 (en) * | 2003-08-22 | 2006-05-17 | LG Chem. Ltd. | Spin coating apparatus and coated substrate manufactured using the same |
| EP1656671A4 (en) * | 2003-08-22 | 2009-04-08 | Lg Chemical Ltd | SHEARING DEVICE AND COATING METER PRODUCED THEREwith |
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