JPS60146647U - 研摩装置 - Google Patents

研摩装置

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JPS60146647U
JPS60146647U JP1984034970U JP3497084U JPS60146647U JP S60146647 U JPS60146647 U JP S60146647U JP 1984034970 U JP1984034970 U JP 1984034970U JP 3497084 U JP3497084 U JP 3497084U JP S60146647 U JPS60146647 U JP S60146647U
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JP
Japan
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polishing
polishing equipment
tub
plate
pouring
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Pending
Application number
JP1984034970U
Other languages
English (en)
Inventor
重伸 和田
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Publication of JPS60146647U publication Critical patent/JPS60146647U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来用いられている回転式研摩装置の一例を示
す断面図、第２図は本考案の研摩装置の桶の構造を説明
す不ための斜視図、第３図は本考案の研摩装置の効果を
説明するための断面図である。 図において、１は研摩皿、２は垂直軸、３は桶、４は研
摩液、５は研摩クロス、６はホルダ、７はホルダ軸、８
は基板、９は桶、１０は輪状板を表わす。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転する研摩皿と共に組立てられた樋の中に研摩液を入
    れて被加工物を研摩皿に対向させて液中研摩を行なう装
    置において、桶の内側に該桶の内周に接する輪状の板を
    設けたことを特徴とする研摩装置。
JP1984034970U 1984-03-12 1984-03-12 研摩装置 Pending JPS60146647U (ja)

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JP1984034970U JPS60146647U (ja) 1984-03-12 1984-03-12 研摩装置

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JP1984034970U JPS60146647U (ja) 1984-03-12 1984-03-12 研摩装置

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JPS60146647U true JPS60146647U (ja) 1985-09-28

Family

ID=30538830

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JP1984034970U Pending JPS60146647U (ja) 1984-03-12 1984-03-12 研摩装置

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