JPS60146645U - 研摩装置 - Google Patents
研摩装置Info
- Publication number
- JPS60146645U JPS60146645U JP1984034967U JP3496784U JPS60146645U JP S60146645 U JPS60146645 U JP S60146645U JP 1984034967 U JP1984034967 U JP 1984034967U JP 3496784 U JP3496784 U JP 3496784U JP S60146645 U JPS60146645 U JP S60146645U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polishing equipment
- facing
- plate
- polishing plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来用いられている回転式の研摩装置の一例を
示す段面図で、aは高速回転で内周部の・研摩液が無(
なった状態、bは板を入れた状態を表わしている。第2
図は本考案の研摩装置の一実施例を示す斜視図である。 第3図は第2図の整流容器の構造を説明するための斜視
図である。第4図は本考案の研摩装置による研摩液の流
れの模式図において1は研摩皿、2は垂直軸、3は容器
、4は研摩液、5は研摩クロス、6はホルダ、7はホル
ダ軸、8は基板、9は板、10は整流容器、11は支柱
、12は支持板、13は開口部、14は穴を表わす。
示す段面図で、aは高速回転で内周部の・研摩液が無(
なった状態、bは板を入れた状態を表わしている。第2
図は本考案の研摩装置の一実施例を示す斜視図である。 第3図は第2図の整流容器の構造を説明するための斜視
図である。第4図は本考案の研摩装置による研摩液の流
れの模式図において1は研摩皿、2は垂直軸、3は容器
、4は研摩液、5は研摩クロス、6はホルダ、7はホル
ダ軸、8は基板、9は板、10は整流容器、11は支柱
、12は支持板、13は開口部、14は穴を表わす。
Claims (1)
- 回転する研摩皿に被加工物を対向させて研摩を行なう装
置において、研摩皿の上方に研摩液流に対向して設けら
れた開口部と研摩皿に面した部分に穴を有する容器を備
えることを特徴とする研摩装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984034967U JPS60146645U (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 研摩装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984034967U JPS60146645U (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 研摩装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60146645U true JPS60146645U (ja) | 1985-09-28 |
Family
ID=30538824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1984034967U Pending JPS60146645U (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 研摩装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60146645U (ja) |
-
1984
- 1984-03-12 JP JP1984034967U patent/JPS60146645U/ja active Pending
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