JPS5891473U - スピンナ−装置 - Google Patents
スピンナ−装置Info
- Publication number
- JPS5891473U JPS5891473U JP18686381U JP18686381U JPS5891473U JP S5891473 U JPS5891473 U JP S5891473U JP 18686381 U JP18686381 U JP 18686381U JP 18686381 U JP18686381 U JP 18686381U JP S5891473 U JPS5891473 U JP S5891473U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation
- substrate
- center
- rotation axis
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案にかかるスピンナー装置の一実施例とし
て概略的に示した断面図である。 １はモーター、２はターンテーブル、４は基板、５は回
転軸、５−ａは空気導入用の溝、６は締付はナツト、７
は第１のノズル、８は塗布材、９は第２のノズル、１０
は空気導入用の溝である。
て概略的に示した断面図である。 １はモーター、２はターンテーブル、４は基板、５は回
転軸、５−ａは空気導入用の溝、６は締付はナツト、７
は第１のノズル、８は塗布材、９は第２のノズル、１０
は空気導入用の溝である。
Claims (1)
- 回転軸上に基板を配置し、該基板を回転し、回転軸また
は回転の中心近傍に塗布膜材を噴射する゛ 第１のノズ
ルと、回転軸または回転の中心近傍に空気等気体を噴射
する第２のノズルとを配設し、基板上に塗布材を滴下し
遠心力の小さい回転中心部近傍で気体の流れにより外周
部へ塗布材が一様に塗布出来ることを特徴とするスピン
ナー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18686381U JPS5891473U (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | スピンナ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18686381U JPS5891473U (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | スピンナ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5891473U true JPS5891473U (ja) | 1983-06-21 |
Family
ID=29989179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18686381U Pending JPS5891473U (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | スピンナ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5891473U (ja) |
-
1981
- 1981-12-15 JP JP18686381U patent/JPS5891473U/ja active Pending
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