JPS59192835U - スピンナ - Google Patents
スピンナInfo
- Publication number
- JPS59192835U JPS59192835U JP8833083U JP8833083U JPS59192835U JP S59192835 U JPS59192835 U JP S59192835U JP 8833083 U JP8833083 U JP 8833083U JP 8833083 U JP8833083 U JP 8833083U JP S59192835 U JPS59192835 U JP S59192835U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- spinner
- resist
- plate
- nitrogen gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案を実施したスピンナの構成を示す断 、面
図である。− 図において、６はレジスト液供給ノズル、８は ゛
ウェハ、９は窒素ガスノズル。
図である。− 図において、６はレジスト液供給ノズル、８は ゛
ウェハ、９は窒素ガスノズル。
Claims (1)
- モータに直結して高速で回転すると共に真空チャック機
構を回転軸に備えた塗膜形成用プレートと該プレート上
に保持されたウェハにレジスト液を供給するノズルと該
レジストの飛散を防止する円筒状の有底側壁とを備えて
なるスピンナにおいて前記ノズルに隣接して窒素ガス噴
出用のノズルを設けてなることを特徴とするスピンナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8833083U JPS59192835U (ja) | 1983-06-09 | 1983-06-09 | スピンナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8833083U JPS59192835U (ja) | 1983-06-09 | 1983-06-09 | スピンナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59192835U true JPS59192835U (ja) | 1984-12-21 |
Family
ID=30218242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8833083U Pending JPS59192835U (ja) | 1983-06-09 | 1983-06-09 | スピンナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59192835U (ja) |
-
1983
- 1983-06-09 JP JP8833083U patent/JPS59192835U/ja active Pending
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