JPS63188939U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63188939U JPS63188939U JP8035887U JP8035887U JPS63188939U JP S63188939 U JPS63188939 U JP S63188939U JP 8035887 U JP8035887 U JP 8035887U JP 8035887 U JP8035887 U JP 8035887U JP S63188939 U JPS63188939 U JP S63188939U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- resist
- resist coating
- attracted
- back side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案のレジスト塗布装置の概略構
成を示す断面図、第２図はその要部を説明するた
めの断面図、第３図はこの考案のレジスト塗布装
置のおけるインナーカバーを配置するのに最適寸
法範囲を示すグラフ、第４図は従来のレジスト塗
布装置の概略構成を示す断面図、第５図はその要
部を説明するための断面図である。 １…回転シヤフト、２…半導体ウエハ、３…真
空チヤツク、４…アウターカバー、５…インナー
カバー、５ａ…インナーカバーの上端、６…空洞
部、９…洗浄用パイプ、９ａ…洗浄ノズル。
成を示す断面図、第２図はその要部を説明するた
めの断面図、第３図はこの考案のレジスト塗布装
置のおけるインナーカバーを配置するのに最適寸
法範囲を示すグラフ、第４図は従来のレジスト塗
布装置の概略構成を示す断面図、第５図はその要
部を説明するための断面図である。 １…回転シヤフト、２…半導体ウエハ、３…真
空チヤツク、４…アウターカバー、５…インナー
カバー、５ａ…インナーカバーの上端、６…空洞
部、９…洗浄用パイプ、９ａ…洗浄ノズル。
Claims (1)
- 鉛直方向に配置された回転シヤフトと、この回
転シヤフトの上端に設けられ半導体ウエハが吸着
される真空チヤツクと、この真空チヤツクに吸着
された半導体ウエハ上に、回転中に滴下されたレ
ジストの飛沫を半導体ウエハの外側で受ける止め
るアウターカバーと、このアウターカバーからの
レジストの跳ね返り飛沫を受け止めるインナーカ
バーとを備えたレジスト塗布装置において、前記
インナーカバーの上端を、少なくとも前記半導体
ウエハの裏面側で、かつ、前記半導体ウエハの外
周よりも外側の近接位置に配置し、半導体ウエハ
の裏面側にレジストの飛沫が付着しないようにし
たことを特徴とするレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8035887U JPS63188939U (ja) | 1987-05-27 | 1987-05-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8035887U JPS63188939U (ja) | 1987-05-27 | 1987-05-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63188939U true JPS63188939U (ja) | 1988-12-05 |
Family
ID=30931093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8035887U Pending JPS63188939U (ja) | 1987-05-27 | 1987-05-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63188939U (ja) |
-
1987
- 1987-05-27 JP JP8035887U patent/JPS63188939U/ja active Pending