JPH02116730U - - Google Patents

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JPH02116730U
JPH02116730U JP2581889U JP2581889U JPH02116730U JP H02116730 U JPH02116730 U JP H02116730U JP 2581889 U JP2581889 U JP 2581889U JP 2581889 U JP2581889 U JP 2581889U JP H02116730 U JPH02116730 U JP H02116730U
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JP
Japan
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processing tank
opening
substrate
photoresist
waste liquid
Prior art date
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JP2581889U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例によるフオトレジ
スト塗布装置の断面図、第２図は同じく平面図、
第３図は従来のフオトレジスト装置の断面図、第
４図は同じく平面図である。 １……処理槽、２……スピンモータ、３……ス
ピンテーブル、５……廃液受皿、６……ドレイン
口、７……吸気口、１０……開口部、１５……開
閉ダンパ、１６……開閉カバー、１７……開閉蓋
、１８……薬液ノズル。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 上面に開口部を有する処理槽内に、モータに連
    動して回転するスピンテーブルを水平に設け、こ
    のスピンテーブルの下方に廃液受皿を配置し、こ
    の廃液受皿の底部に前記処理槽の外部に連通する
    ドレイン口を形成し、前記処理槽の底部に該処理
    槽内の空気を吸入する吸気口を形成し、前記スピ
    ンテーブルの上に基板を供給して固定し、この基
    板の上にフオトレジストを滴下するとともに、前
    記基板をスピンテーブルと一体に回転させ、かつ
    前記開口部から前記基板の表面を通して前記吸気
    口に流れる気流を発生させて前記フオトレジスト
    を前記基板の表面に均一に塗布し、その残余のフ
    オトレジストを廃液として前記廃液受皿に流入さ
    せるフオトレジスト塗布装置であつて、前記吸気
    口、ドレイン口、開口部にそれぞれその開閉用の
    開閉機構を設け、さらに処理槽内にフオトレジス
    トの溶剤を前記廃液受皿内へ注入することの可能
    な薬液ノズルを設けたことを特徴とするフオトレ
    ジスト塗布装置。
JP2581889U 1989-03-07 1989-03-07 Pending JPH02116730U (ja)

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JP2581889U JPH02116730U (ja) 1989-03-07 1989-03-07

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JPH02116730U true JPH02116730U (ja) 1990-09-19

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JP2581889U Pending JPH02116730U (ja) 1989-03-07 1989-03-07

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JP (1) JPH02116730U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05305261A (ja) * 1992-04-28 1993-11-19 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 塗布装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61207019A (ja) * 1985-03-12 1986-09-13 Nec Corp 回転塗布装置
JPS62232923A (ja) * 1986-04-02 1987-10-13 Mitsubishi Electric Corp 半導体製造装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61207019A (ja) * 1985-03-12 1986-09-13 Nec Corp 回転塗布装置
JPS62232923A (ja) * 1986-04-02 1987-10-13 Mitsubishi Electric Corp 半導体製造装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05305261A (ja) * 1992-04-28 1993-11-19 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 塗布装置

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