JPS63111960U - - Google Patents

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JPS63111960U
JPS63111960U JP302687U JP302687U JPS63111960U JP S63111960 U JPS63111960 U JP S63111960U JP 302687 U JP302687 U JP 302687U JP 302687 U JP302687 U JP 302687U JP S63111960 U JPS63111960 U JP S63111960U
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cups
rotary table
moving
partition
processed
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  • Physical Water Treatments (AREA)
  • Centrifugal Separators (AREA)
  • Weting (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１の実施例を説明する断面
図、第２図は本考案の第２の実施例を説明する断
面図、第３図は従来のカツプに３方弁を利用した
回収ラインを説明する断面図、第４図は従来例に
よる処理装置の廃液用カツプを説明する断面図で
ある。 図において、１は第１のカツプ、２は第２のカ
ツプ、３は第３のカツプ、１Ａ，２Ａ，３Ａが排
出口、１Ｂ，２Ｂ，３Ｂは廃液のガイド板、４は
被処理基板、５は回転台、６はノズル、７は仕切
り部、８はモータ、９は上下機構、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 互いに間隔をあけて重ね合わせるように設けら
    れた、大きさの異なる複数のカツプと、該カツプ
    内で被処理基板を保持して回転する回転台と、該
    カツプのそれぞれに設けられた排出口と、異なつ
    た処理液がそれぞれのカツプに流出するように該
    回転台を上下する機構、または該カツプ間の仕切
    り部を上下する機構を有することを特徴とするス
    ピン処理装置。
JP1987003026U 1987-01-13 1987-01-13 Expired JPH0434902Y2 (ja)

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JPS63111960U true JPS63111960U (ja) 1988-07-19
JPH0434902Y2 JPH0434902Y2 (ja) 1992-08-19

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ID=30782410

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