JPS63111960U - - Google Patents

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JPS63111960U
JPS63111960U JP302687U JP302687U JPS63111960U JP S63111960 U JPS63111960 U JP S63111960U JP 302687 U JP302687 U JP 302687U JP 302687 U JP302687 U JP 302687U JP S63111960 U JPS63111960 U JP S63111960U
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cups
rotary table
moving
partition
processed
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  • Centrifugal Separators (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Physical Water Treatments (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１の実施例を説明する断面
図、第２図は本考案の第２の実施例を説明する断
面図、第３図は従来のカツプに３方弁を利用した
回収ラインを説明する断面図、第４図は従来例に
よる処理装置の廃液用カツプを説明する断面図で
ある。 図において、１は第１のカツプ、２は第２のカ
ツプ、３は第３のカツプ、１Ａ，２Ａ，３Ａが排
出口、１Ｂ，２Ｂ，３Ｂは廃液のガイド板、４は
被処理基板、５は回転台、６はノズル、７は仕切
り部、８はモータ、９は上下機構、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 互いに間隔をあけて重ね合わせるように設けら
    れた、大きさの異なる複数のカツプと、該カツプ
    内で被処理基板を保持して回転する回転台と、該
    カツプのそれぞれに設けられた排出口と、異なつ
    た処理液がそれぞれのカツプに流出するように該
    回転台を上下する機構、または該カツプ間の仕切
    り部を上下する機構を有することを特徴とするス
    ピン処理装置。
JP1987003026U 1987-01-13 1987-01-13 Expired JPH0434902Y2 (ja)

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JPS63111960U true JPS63111960U (ja) 1988-07-19
JPH0434902Y2 JPH0434902Y2 (ja) 1992-08-19

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ID=30782410

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