JPH043624Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

（産業上の利用分野） 本考案は、半導体集積回路やフオトマスク等の
精密部品の製造プロセスに用いるチヤンバーの内
部に被処理物回転装置を備えてチヤンバーに強制
排気機構を備えて湿式処理を行う湿式処理装置に
関する。 （考案の技術的背景とその問題点） 半導体集積回路やフオトマスク等を製造するプ
ロセスにおいては、被処理物をチヤンバー内に静
置あるいは回転台上に載置した状態で湿式処理す
ることが多い。ここで湿式処理とは、具体的に
は、現像処理、エツチング処理、レジスト塗布な
どを意味し、このような湿式処理工程において
は、その処理内容から、処理の途中からチヤンバ
ー内の給排気を実行もしくは停止しないと製品の
品質上問題が生じる場合がある。 例えば、レジスト溶剤によるスピン現像におい
ては、現像途中での自然吸気の取入れは、被処理
物の面上に溶剤蒸気の露結の惧れがあり、また回
転台をスピンさせた状態の現像処理にあつては、
周速の変化や、周囲の気流の乱れにより現像ムラ
が発生する惧れもある。また、レジスト塗布にお
いても、レジストの被処理物への滴下から回転遠
心力による塗膜の均一化までの処理段階で、自然
吸気を行なうとレジスト塗布ムラを生じる惧れが
ある。一方、乾燥工程では、大量の空気をチヤン
バー内に導入することが、処理時間を短縮するう
えで望ましいが、チヤンバー内に強制的に吸気す
ることは、排気量とのバランスがむずかしく、装
置化が困難であつた。 （考案の目的） 本考案は、以上のような従来技術の問題点を解
決すべく、鋭意工夫したもので、その目的とする
ところは、湿式処理の各段階、各工程において、
チヤンバー内の給排気を適切に行なえるようにし
た処理装置を提供することにある。 （問題点を解決する具体的手段） すなわち本考案は、処理装置のチヤンバーに強
制的に給気する機構および強制的に排気する機構
に加えて、処理装置のチヤンバーの上部壁に自動
開閉機構並びに防塵フイルターが設けられている
給気管より給気される自然給気孔を設けてなるこ
とを特徴とする処理装置である。 〔考案の詳述〕 実施例を示す図面に基いて詳細に説明すると、
第１図において、チヤンバー１内には、搬送系に
よつて導かれた被処理物（図示せず）を載置して
回動する回転処理台２が回転軸３に連結して備え
られ、その上方にレジスト液や現像液などの処理
液を滴下あるいは噴霧するためのノズル４４′が
設けられている。チヤンバー１の下部には排出管
５を設け、液体は廃液回収タンク６に導かれ、時
に応じてポンプ７を介してより大形の廃液タンク
（図示せず）へ移送される。 次に給排気系について述べれば、強制給気管８
は、外部から一定の圧力をもつて、空気または窒
素ガス等をチヤンバー１内に送入するもので、電
磁弁９を強制給気管８の途中に設けることによ
り、強制給気の停止時期や開始のタイミングを制
御できるようにしている。排気系は、排出管５の
途中に強制排気管１０を設け、自動開閉ダンパー
１１を介して、送風フアン１２を設けてなり、自
動開閉ダンパー１０と送風フアン１２の間に、外
気と通じる分岐管１３を連設する。分岐管１３に
も自動開閉ダンパー１４を設けて、外気と排気と
の開閉を行なえるようにする。明らかなように、
自動開閉ダンパー１４を閉じた状態では、送風フ
アン１２の排気力の全てがチヤンバー１内の気体
の排出に寄与することになり、自動開閉ダンパー
１４が開いた状態では、送風フアン１２は分岐管
１３から流入する空気を排気することに係り、チ
ヤンバー１内の気体を排出する機能は小さくな
る。このほか、チヤンバー１の上部壁には、自動
開閉機構付きの自然給気孔を設ける。図の実施例
では自然給気管１５と自動開閉ダンパー１６とか
らなり、このダンパー１６の開閉動作により外気
とチヤンバー１内が、必要なタイミングに応じて
導通することとなり、強制排気系の働きにより、
大量の空気がチヤンバー内に給気されるものであ
る。自然給気孔には、清浄な空気をチヤンバー１
内に導入することが好ましく、図の実施例ではダ
ンパー１６の直後に防塵フイルター１７を備えて
いる。 自然給気孔は、大量の外気をチヤンバー内へ給
気するためのものであるから、大口径の給気管１
５を用いることが実施態様としてまず提案でき
る。別の態様としては、自然給気孔を複数個設け
ることも考えられる。第２図に、このような実施
例を示す。すなわち、チヤンバー１の上部壁１８
に自然給気孔を三個設けてなり、それぞれに自然
給気管１５を取り付け、これを上方で合体し、防
塵フイルター１７、自動開閉ダンパー１６を装備
することは、前の例と同様である。第２図の実施
例のように自然給気孔を複数個設ける際は、チヤ
ンバーの上部壁１８の中央１９を囲む点対象の位
置に設ける。図の例では三個の自然給気孔は、上
から見た場合、それぞれ120度の角度を介して設
けられる。自然給気孔が二個ならば、180度の角
度、四個ならば、90度の角度を介して設けられ
る。このようにすれば、チヤンバー１に対して偏
在することなく均等に自然給気孔が存在すること
になり、自然給気の際の空気の流れも不均一にな
ることがない。 （作用） 第１図の実施例に基いて、現像段階の各工程に
ついて説明する。

【表】 現像処理の工程では、自然給気を行なわず（ダ
ンパー１６閉）、チヤンバー１内の雰囲気は、強
制給気（電磁弁９開）および少量排気（ダンパー
１１，１４開）の状態でコントロールされること
になる。 後処理の工程では、チヤンバー１内の雰囲気
は、現像処理と同様とする。 スピン乾燥の工程では、ダンパー１６を開けて
自然給気を実施し、排気系についてもダンパー１
４を閉じて送風フアン１２の排気力の全てを排気
に用いることで大量排気を行なえる。 （考案の効果） 本考案は、以上のようなものであり、処理装置
のチヤンバーの上部壁に自動開閉機構付きの自然
給気孔を設けたので、乾燥工程のように大量給気
が好ましい時には給気孔を開状態にすることで対
応でき、また、大量給気が必要でない時には閉状
態として強制給排気系によりチヤンバー内の雰囲
気を調整することができる。 その他、自然給気孔に防塵フイルターを付けれ
ば、チヤンバー内に清浄空気を導入することがで
きるし、自然給気孔の配置を均等にすることで、
チヤンバー内の気流を均等な流れとすることもで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の処理装置の一実施例を示す
説明図であり、第２図は、本考案の処理装置の自
然給気孔の一例を示す説明斜視図である。 １……チヤンバー、２……回転台、４……ノズ
ル、５……排出管、８……強制給気管、９……電
磁弁、１０……強制排気管、１１，１４，１６…
…ダンパー、１２……送風フアン、１３……分岐
管、１５……自然給気管、１７……防塵フイルタ
ー。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 処理装置のチヤンバーの上部壁に自動開閉機
   構並びに防塵フイルターが設けられている給気
   管より給気される自然給気孔を設けていること
   を特徴とする、チヤンバーの内部に被処理物回
   転装置を備えてチヤンバーに強制排気機構を備
   えて湿式処理を行う処理装置。 (2) 自然給気孔が、チヤンバーの上部壁の中央を
   囲む点対称の位置に複数個設けられている実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の処理装置。