JPH05305261A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
- Publication number
- JPH05305261A JPH05305261A JP4136125A JP13612592A JPH05305261A JP H05305261 A JPH05305261 A JP H05305261A JP 4136125 A JP4136125 A JP 4136125A JP 13612592 A JP13612592 A JP 13612592A JP H05305261 A JPH05305261 A JP H05305261A
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- JP
- Japan
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- cup
- recovery passage
- outer cup
- drain
- coating apparatus
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- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
が付着固化しないようにする。 【構成】 アウターカップ23は上半体23aと下半体
23bとからなり、これら上半体23aと下半体23b
との間に環状のドレイン回収通路26を形成し、インナ
ーカップ22から径方向外方に突出せしめたドレインパ
イプ27がドレイン回収通路26の幅狭部26aを貫通
してドレイン回収通路26内に臨んでいる。更に、アウ
ターカップ23の上方には溶剤供給用の配管28を環状
に巡らし、この配管28から下方に複数本の溶剤供給パ
イプ29を分岐し、この溶剤供給パイプ29をアウター
カップ23に挿入し前記幅狭部26aの天井部に開口せ
しめている。
Description
D)の製造工程等に用いる塗布装置に関する。
置として本出願人は先に、回転するインナーカップの外
側にアウターカップを固定し、インナーカップ内の真空
チャックにセットしたガラス基板上に塗布液を滴下し、
次いでスピンナーによって真空チャックとインナーカッ
プを一体的に回転せしめ遠心力によってガラス基板表面
に塗布液を均一に拡散するようにした装置を提案してい
る。
ップの外周壁にドレイン孔を取り付け、余分な塗布液に
ついてはドレイン孔を介してアウターカップ内に形成し
た回収通路に排出することで、塗布液が乾燥して固化し
た小さな破片がガラス基板表面に付着することを防止し
ている。
路内にドレイン孔を臨ませると、ドレイン孔から飛散し
た塗布液が回収通路の内周面に付着して固化し、最終的
にはドレイン孔に当り、ドレイン孔を破損する事故が発
生した。
発明に係る塗布装置は、スピンナーによって回転せしめ
られるインナーカップの外側にアウターカップを配置
し、このアウターカップ内にインナーカップから突出す
るドレイン孔が臨む環状の回収通路を形成した塗布装置
において、前記アウターカップには前記回収通路に開口
する溶剤供給パイプを挿入した。
剤は、ドレイン孔に当たるかドレイン孔の回転で生じた
気流によってミスト状に分散し、回収通路内に拡がる。
説明する。ここで、図1は本発明に係る塗布装置を組み
込んだ被膜形成装置の平面図、図2は同塗布装置の蓋体
を上げた状態の断面図、図3は同塗布装置の要部の拡大
断面図、図4は別実施例を示す図3と同様の断面図であ
る。
この上流部にガラス基板等の板状被処理物Wの投入部1
を設け、この投入部1の下流側に本発明に係る塗布装置
2を配置し、この塗布装置2の下流側に順次、減圧乾燥
装置3、被処理物Wの裏面洗浄装置4及びホットプレー
ト5a・・・とクーリングプレート5bを備えた加熱部5
を配置し、投入部1から加熱部5に至るまでは搬送装置
6によって被処理物Wの前後端の下面を支持した状態で
搬送し、加熱部5においては垂直面内でクランク動をな
す搬送装置7により被処理物Wの下面を支持した状態で
各ホットプレート5a上を順次移し換え、最終的にクー
リングプレート5bで温度を調整しつつ被処理物Wを取
り出し部8まで搬送するようにしている。
供給装置9を配置し、この塗布液供給装置9から供給さ
れる塗布液を移動可能なノズル10を用いて被処理物W
表面に滴下するようにしている。
り付けられたインナーカップ22の外側にアウターカッ
プ23を配設している。インナーカップ22は底板22
aと側板22bからなり、底板22a上には真空チャッ
ク24を設けている。
する支持プレート25上に固定されるとともに上半体2
3aと下半体23bとからなり、これら上半体23aと
下半体23bとの間に環状のドレイン回収通路26を形
成し、インナーカップの側板22bから径方向外方に突
出せしめたドレイン孔27がドレイン回収通路26の幅
狭部26aを貫通してドレイン回収通路26内に臨んで
いる。
供給用の配管28を環状に巡らし、この配管28から下
方に複数本の溶剤供給パイプ29を分岐し、この溶剤供
給パイプ29をアウターカップ23に挿入し前記幅狭部
26aの天井部に開口せしめている。
ップ23の上方には図1に示すようにノズル10の他に
アーム30を配置している。アーム30は直線動、回転
動、上下動或いはこれらを合成した動きが可能でノズル
10と干渉しないようになっている。そして、アーム3
0の先端には下方に伸びる軸31を取り付け、この軸3
1に形成したノズル孔をホース32,33を介してチッ
素ガス供給源及び洗浄液(溶剤)供給源につなげてい
る。
部34にはインナーカップ22の上面開口を閉塞するた
めの蓋体35を取り付け、この蓋体35の上方のアーム
30の先端下面にはアウターカップ23の上面開口を閉
塞するための蓋体36を固着し、蓋体35の下面にはイ
ンナーカップ22内の乱流を防止する整流板37を取り
付けている。
実施例を示す図であり、この実施例にあっては回収通路
26の天井面を傾斜面とし、この傾斜面に溶剤供給パイ
プ29を開口せしめている。
表面に塗布液を均一に塗布するには、インナーカップ2
2及びアウターカップ23の上面を開放して真空チャッ
ク24上に固着されている被処理物Wの表面にノズル1
0から塗布液を滴下し、次いでノズル10を後退せしめ
て図2に示すようにインナーカップ22及びアウターカ
ップ23上にアーム30を回動させて蓋体35、36を
臨ませる。
35によりインナーカップ22の上面を閉塞し、蓋体3
6によりアウターカップ23の上面開口を閉塞し、スピ
ンナーによって真空チャック24とインナーカップ22
を一体的に回転せしめ、遠心力により塗布液を被処理物
Wの表面に均一に拡散塗布する。
塗布された塗布液以外の余分な塗布液は遠心力によりド
レイン孔27を介して回収通路26内に回収される。そ
して回収通路26内にはドレイン孔27の回転により一
定方向の気流が生じているため、回収通路26内に入っ
た塗布液の殆んどは回収通路26に沿って流れ、外部に
排出される。
を介して溶剤を回収通路26内に滴下する。すると滴下
された溶剤は、回転するドレイン孔27に衝突するか或
いはドレイン孔27の回転で生じた気流によってミスト
状になり、回収通路26内に拡がる。したがって回収通
路26内は溶剤が飽和状態になっており、ドレイン孔2
7から飛散した塗布液が回収通路26の内壁面に付着し
て固化することがない。
回転カップを備えた塗布装置において、回転カップから
突出するドレイン孔が臨む回収通路に溶剤の供給パイプ
を開口せしめたので、回収通路内をミスト状の溶剤で飽
和状態にすることができる。特に溶剤供給パイプを複数
本挿入し且つその開口部をドレイン孔が通過する部分に
近接せしめることで、上記の効果は顕著になる。
置の平面図
23…アウターカップ、26…回収通路、27…ドレイ
ン孔、28…溶剤供給用の配管、29…溶剤供給パイ
プ、W…被処理物。
Claims (2)
- 【請求項1】 スピンナーによって回転せしめられるイ
ンナーカップの外側にアウターカップを配置し、このア
ウターカップ内にインナーカップから突出するドレイン
孔が臨む環状の回収通路を形成した塗布装置において、
前記アウターカップには前記回収通路に開口する溶剤供
給パイプを挿入したことを特徴とする塗布装置。 - 【請求項2】 前記溶剤供給パイプは複数本挿入され且
つその開口部はドレイン孔が通過する部分に近接してい
ることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4136125A JP2598203B2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 塗布装置 |
US08/176,204 US5439519A (en) | 1992-04-28 | 1994-01-03 | Solution applying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4136125A JP2598203B2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05305261A true JPH05305261A (ja) | 1993-11-19 |
JP2598203B2 JP2598203B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=15167894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4136125A Expired - Fee Related JP2598203B2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2598203B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01135565A (ja) * | 1987-11-23 | 1989-05-29 | Tatsumo Kk | 塗布装置 |
JPH02116730U (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-19 |
-
1992
- 1992-04-28 JP JP4136125A patent/JP2598203B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01135565A (ja) * | 1987-11-23 | 1989-05-29 | Tatsumo Kk | 塗布装置 |
JPH02116730U (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-19 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2598203B2 (ja) | 1997-04-09 |
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