JPH05305261A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
- Publication number
- JPH05305261A JPH05305261A JP4136125A JP13612592A JPH05305261A JP H05305261 A JPH05305261 A JP H05305261A JP 4136125 A JP4136125 A JP 4136125A JP 13612592 A JP13612592 A JP 13612592A JP H05305261 A JPH05305261 A JP H05305261A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cup
- recovery passage
- outer cup
- drain
- coating apparatus
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転カップ式塗布装置の回収通路内に塗布液
が付着固化しないようにする。 【構成】 アウターカップ２３は上半体２３ａと下半体
２３ｂとからなり、これら上半体２３ａと下半体２３ｂ
との間に環状のドレイン回収通路２６を形成し、インナ
ーカップ２２から径方向外方に突出せしめたドレインパ
イプ２７がドレイン回収通路２６の幅狭部２６ａを貫通
してドレイン回収通路２６内に臨んでいる。更に、アウ
ターカップ２３の上方には溶剤供給用の配管２８を環状
に巡らし、この配管２８から下方に複数本の溶剤供給パ
イプ２９を分岐し、この溶剤供給パイプ２９をアウター
カップ２３に挿入し前記幅狭部２６ａの天井部に開口せ
しめている。
が付着固化しないようにする。 【構成】 アウターカップ２３は上半体２３ａと下半体
２３ｂとからなり、これら上半体２３ａと下半体２３ｂ
との間に環状のドレイン回収通路２６を形成し、インナ
ーカップ２２から径方向外方に突出せしめたドレインパ
イプ２７がドレイン回収通路２６の幅狭部２６ａを貫通
してドレイン回収通路２６内に臨んでいる。更に、アウ
ターカップ２３の上方には溶剤供給用の配管２８を環状
に巡らし、この配管２８から下方に複数本の溶剤供給パ
イプ２９を分岐し、この溶剤供給パイプ２９をアウター
カップ２３に挿入し前記幅狭部２６ａの天井部に開口せ
しめている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶ディスプレイ（ＬＣ
Ｄ）の製造工程等に用いる塗布装置に関する。
Ｄ）の製造工程等に用いる塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラー液晶基板の製造等に用いる塗布装
置として本出願人は先に、回転するインナーカップの外
側にアウターカップを固定し、インナーカップ内の真空
チャックにセットしたガラス基板上に塗布液を滴下し、
次いでスピンナーによって真空チャックとインナーカッ
プを一体的に回転せしめ遠心力によってガラス基板表面
に塗布液を均一に拡散するようにした装置を提案してい
る。
置として本出願人は先に、回転するインナーカップの外
側にアウターカップを固定し、インナーカップ内の真空
チャックにセットしたガラス基板上に塗布液を滴下し、
次いでスピンナーによって真空チャックとインナーカッ
プを一体的に回転せしめ遠心力によってガラス基板表面
に塗布液を均一に拡散するようにした装置を提案してい
る。
【０００３】そして、上記の装置にあってはインナーカ
ップの外周壁にドレイン孔を取り付け、余分な塗布液に
ついてはドレイン孔を介してアウターカップ内に形成し
た回収通路に排出することで、塗布液が乾燥して固化し
た小さな破片がガラス基板表面に付着することを防止し
ている。
ップの外周壁にドレイン孔を取り付け、余分な塗布液に
ついてはドレイン孔を介してアウターカップ内に形成し
た回収通路に排出することで、塗布液が乾燥して固化し
た小さな破片がガラス基板表面に付着することを防止し
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように回収通
路内にドレイン孔を臨ませると、ドレイン孔から飛散し
た塗布液が回収通路の内周面に付着して固化し、最終的
にはドレイン孔に当り、ドレイン孔を破損する事故が発
生した。
路内にドレイン孔を臨ませると、ドレイン孔から飛散し
た塗布液が回収通路の内周面に付着して固化し、最終的
にはドレイン孔に当り、ドレイン孔を破損する事故が発
生した。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る塗布装置は、スピンナーによって回転せしめ
られるインナーカップの外側にアウターカップを配置
し、このアウターカップ内にインナーカップから突出す
るドレイン孔が臨む環状の回収通路を形成した塗布装置
において、前記アウターカップには前記回収通路に開口
する溶剤供給パイプを挿入した。
発明に係る塗布装置は、スピンナーによって回転せしめ
られるインナーカップの外側にアウターカップを配置
し、このアウターカップ内にインナーカップから突出す
るドレイン孔が臨む環状の回収通路を形成した塗布装置
において、前記アウターカップには前記回収通路に開口
する溶剤供給パイプを挿入した。
【０００６】
【作用】溶剤供給パイプから回収通路内に滴下された溶
剤は、ドレイン孔に当たるかドレイン孔の回転で生じた
気流によってミスト状に分散し、回収通路内に拡がる。
剤は、ドレイン孔に当たるかドレイン孔の回転で生じた
気流によってミスト状に分散し、回収通路内に拡がる。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る塗布装置を組み
込んだ被膜形成装置の平面図、図２は同塗布装置の蓋体
を上げた状態の断面図、図３は同塗布装置の要部の拡大
断面図、図４は別実施例を示す図３と同様の断面図であ
る。
説明する。ここで、図１は本発明に係る塗布装置を組み
込んだ被膜形成装置の平面図、図２は同塗布装置の蓋体
を上げた状態の断面図、図３は同塗布装置の要部の拡大
断面図、図４は別実施例を示す図３と同様の断面図であ
る。
【０００８】被膜形成装置は図１の左側を上流部とし、
この上流部にガラス基板等の板状被処理物Ｗの投入部１
を設け、この投入部１の下流側に本発明に係る塗布装置
２を配置し、この塗布装置２の下流側に順次、減圧乾燥
装置３、被処理物Ｗの裏面洗浄装置４及びホットプレー
ト５ａ・・・とクーリングプレート５ｂを備えた加熱部５
を配置し、投入部１から加熱部５に至るまでは搬送装置
６によって被処理物Ｗの前後端の下面を支持した状態で
搬送し、加熱部５においては垂直面内でクランク動をな
す搬送装置７により被処理物Ｗの下面を支持した状態で
各ホットプレート５ａ上を順次移し換え、最終的にクー
リングプレート５ｂで温度を調整しつつ被処理物Ｗを取
り出し部８まで搬送するようにしている。
この上流部にガラス基板等の板状被処理物Ｗの投入部１
を設け、この投入部１の下流側に本発明に係る塗布装置
２を配置し、この塗布装置２の下流側に順次、減圧乾燥
装置３、被処理物Ｗの裏面洗浄装置４及びホットプレー
ト５ａ・・・とクーリングプレート５ｂを備えた加熱部５
を配置し、投入部１から加熱部５に至るまでは搬送装置
６によって被処理物Ｗの前後端の下面を支持した状態で
搬送し、加熱部５においては垂直面内でクランク動をな
す搬送装置７により被処理物Ｗの下面を支持した状態で
各ホットプレート５ａ上を順次移し換え、最終的にクー
リングプレート５ｂで温度を調整しつつ被処理物Ｗを取
り出し部８まで搬送するようにしている。
【０００９】塗布装置２の前面側には交換可能な塗布液
供給装置９を配置し、この塗布液供給装置９から供給さ
れる塗布液を移動可能なノズル１０を用いて被処理物Ｗ
表面に滴下するようにしている。
供給装置９を配置し、この塗布液供給装置９から供給さ
れる塗布液を移動可能なノズル１０を用いて被処理物Ｗ
表面に滴下するようにしている。
【００１０】塗布装置２はスピンナー装置の軸２１に取
り付けられたインナーカップ２２の外側にアウターカッ
プ２３を配設している。インナーカップ２２は底板２２
ａと側板２２ｂからなり、底板２２ａ上には真空チャッ
ク２４を設けている。
り付けられたインナーカップ２２の外側にアウターカッ
プ２３を配設している。インナーカップ２２は底板２２
ａと側板２２ｂからなり、底板２２ａ上には真空チャッ
ク２４を設けている。
【００１１】また、アウターカップ２３は軸２１が貫通
する支持プレート２５上に固定されるとともに上半体２
３ａと下半体２３ｂとからなり、これら上半体２３ａと
下半体２３ｂとの間に環状のドレイン回収通路２６を形
成し、インナーカップの側板２２ｂから径方向外方に突
出せしめたドレイン孔２７がドレイン回収通路２６の幅
狭部２６ａを貫通してドレイン回収通路２６内に臨んで
いる。
する支持プレート２５上に固定されるとともに上半体２
３ａと下半体２３ｂとからなり、これら上半体２３ａと
下半体２３ｂとの間に環状のドレイン回収通路２６を形
成し、インナーカップの側板２２ｂから径方向外方に突
出せしめたドレイン孔２７がドレイン回収通路２６の幅
狭部２６ａを貫通してドレイン回収通路２６内に臨んで
いる。
【００１２】更に、アウターカップ２３の上方には溶剤
供給用の配管２８を環状に巡らし、この配管２８から下
方に複数本の溶剤供給パイプ２９を分岐し、この溶剤供
給パイプ２９をアウターカップ２３に挿入し前記幅狭部
２６ａの天井部に開口せしめている。
供給用の配管２８を環状に巡らし、この配管２８から下
方に複数本の溶剤供給パイプ２９を分岐し、この溶剤供
給パイプ２９をアウターカップ２３に挿入し前記幅狭部
２６ａの天井部に開口せしめている。
【００１３】一方、インナーカップ２２及びアウターカ
ップ２３の上方には図１に示すようにノズル１０の他に
アーム３０を配置している。アーム３０は直線動、回転
動、上下動或いはこれらを合成した動きが可能でノズル
１０と干渉しないようになっている。そして、アーム３
０の先端には下方に伸びる軸３１を取り付け、この軸３
１に形成したノズル孔をホース３２，３３を介してチッ
素ガス供給源及び洗浄液（溶剤）供給源につなげてい
る。
ップ２３の上方には図１に示すようにノズル１０の他に
アーム３０を配置している。アーム３０は直線動、回転
動、上下動或いはこれらを合成した動きが可能でノズル
１０と干渉しないようになっている。そして、アーム３
０の先端には下方に伸びる軸３１を取り付け、この軸３
１に形成したノズル孔をホース３２，３３を介してチッ
素ガス供給源及び洗浄液（溶剤）供給源につなげてい
る。
【００１４】また、前記軸３１に回転自在に設けたボス
部３４にはインナーカップ２２の上面開口を閉塞するた
めの蓋体３５を取り付け、この蓋体３５の上方のアーム
３０の先端下面にはアウターカップ２３の上面開口を閉
塞するための蓋体３６を固着し、蓋体３５の下面にはイ
ンナーカップ２２内の乱流を防止する整流板３７を取り
付けている。
部３４にはインナーカップ２２の上面開口を閉塞するた
めの蓋体３５を取り付け、この蓋体３５の上方のアーム
３０の先端下面にはアウターカップ２３の上面開口を閉
塞するための蓋体３６を固着し、蓋体３５の下面にはイ
ンナーカップ２２内の乱流を防止する整流板３７を取り
付けている。
【００１５】図４は回収通路２６の形状を異ならせた別
実施例を示す図であり、この実施例にあっては回収通路
２６の天井面を傾斜面とし、この傾斜面に溶剤供給パイ
プ２９を開口せしめている。
実施例を示す図であり、この実施例にあっては回収通路
２６の天井面を傾斜面とし、この傾斜面に溶剤供給パイ
プ２９を開口せしめている。
【００１６】以上において、ガラス基板等の被処理物Ｗ
表面に塗布液を均一に塗布するには、インナーカップ２
２及びアウターカップ２３の上面を開放して真空チャッ
ク２４上に固着されている被処理物Ｗの表面にノズル１
０から塗布液を滴下し、次いでノズル１０を後退せしめ
て図２に示すようにインナーカップ２２及びアウターカ
ップ２３上にアーム３０を回動させて蓋体３５、３６を
臨ませる。
表面に塗布液を均一に塗布するには、インナーカップ２
２及びアウターカップ２３の上面を開放して真空チャッ
ク２４上に固着されている被処理物Ｗの表面にノズル１
０から塗布液を滴下し、次いでノズル１０を後退せしめ
て図２に示すようにインナーカップ２２及びアウターカ
ップ２３上にアーム３０を回動させて蓋体３５、３６を
臨ませる。
【００１７】次いで、アーム３０を下降することで蓋体
３５によりインナーカップ２２の上面を閉塞し、蓋体３
６によりアウターカップ２３の上面開口を閉塞し、スピ
ンナーによって真空チャック２４とインナーカップ２２
を一体的に回転せしめ、遠心力により塗布液を被処理物
Ｗの表面に均一に拡散塗布する。
３５によりインナーカップ２２の上面を閉塞し、蓋体３
６によりアウターカップ２３の上面開口を閉塞し、スピ
ンナーによって真空チャック２４とインナーカップ２２
を一体的に回転せしめ、遠心力により塗布液を被処理物
Ｗの表面に均一に拡散塗布する。
【００１８】以上の処理において、被処理物Ｗの表面に
塗布された塗布液以外の余分な塗布液は遠心力によりド
レイン孔２７を介して回収通路２６内に回収される。そ
して回収通路２６内にはドレイン孔２７の回転により一
定方向の気流が生じているため、回収通路２６内に入っ
た塗布液の殆んどは回収通路２６に沿って流れ、外部に
排出される。
塗布された塗布液以外の余分な塗布液は遠心力によりド
レイン孔２７を介して回収通路２６内に回収される。そ
して回収通路２６内にはドレイン孔２７の回転により一
定方向の気流が生じているため、回収通路２６内に入っ
た塗布液の殆んどは回収通路２６に沿って流れ、外部に
排出される。
【００１９】また上記の処理の間、溶剤供給パイプ２９
を介して溶剤を回収通路２６内に滴下する。すると滴下
された溶剤は、回転するドレイン孔２７に衝突するか或
いはドレイン孔２７の回転で生じた気流によってミスト
状になり、回収通路２６内に拡がる。したがって回収通
路２６内は溶剤が飽和状態になっており、ドレイン孔２
７から飛散した塗布液が回収通路２６の内壁面に付着し
て固化することがない。
を介して溶剤を回収通路２６内に滴下する。すると滴下
された溶剤は、回転するドレイン孔２７に衝突するか或
いはドレイン孔２７の回転で生じた気流によってミスト
状になり、回収通路２６内に拡がる。したがって回収通
路２６内は溶剤が飽和状態になっており、ドレイン孔２
７から飛散した塗布液が回収通路２６の内壁面に付着し
て固化することがない。
【００２０】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
回転カップを備えた塗布装置において、回転カップから
突出するドレイン孔が臨む回収通路に溶剤の供給パイプ
を開口せしめたので、回収通路内をミスト状の溶剤で飽
和状態にすることができる。特に溶剤供給パイプを複数
本挿入し且つその開口部をドレイン孔が通過する部分に
近接せしめることで、上記の効果は顕著になる。
回転カップを備えた塗布装置において、回転カップから
突出するドレイン孔が臨む回収通路に溶剤の供給パイプ
を開口せしめたので、回収通路内をミスト状の溶剤で飽
和状態にすることができる。特に溶剤供給パイプを複数
本挿入し且つその開口部をドレイン孔が通過する部分に
近接せしめることで、上記の効果は顕著になる。
【図１】本発明に係る塗布装置を組み込んだ被膜形成装
置の平面図
置の平面図
【図２】同塗布装置の蓋体を上げた状態の断面図
【図３】同塗布装置の要部の拡大断面図
【図４】別実施例を示す図３と同様の断面図
２…塗布装置、１０…ノズル、２２…インナーカップ、
２３…アウターカップ、２６…回収通路、２７…ドレイ
ン孔、２８…溶剤供給用の配管、２９…溶剤供給パイ
プ、Ｗ…被処理物。
２３…アウターカップ、２６…回収通路、２７…ドレイ
ン孔、２８…溶剤供給用の配管、２９…溶剤供給パイ
プ、Ｗ…被処理物。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤山 重美 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 スピンナーによって回転せしめられるイ
ンナーカップの外側にアウターカップを配置し、このア
ウターカップ内にインナーカップから突出するドレイン
孔が臨む環状の回収通路を形成した塗布装置において、
前記アウターカップには前記回収通路に開口する溶剤供
給パイプを挿入したことを特徴とする塗布装置。 - 【請求項２】 前記溶剤供給パイプは複数本挿入され且
つその開口部はドレイン孔が通過する部分に近接してい
ることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4136125A JP2598203B2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 塗布装置 |
| US08/176,204 US5439519A (en) | 1992-04-28 | 1994-01-03 | Solution applying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4136125A JP2598203B2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05305261A true JPH05305261A (ja) | 1993-11-19 |
| JP2598203B2 JP2598203B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=15167894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4136125A Expired - Fee Related JP2598203B2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598203B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01135565A (ja) * | 1987-11-23 | 1989-05-29 | Tatsumo Kk | 塗布装置 |
| JPH02116730U (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-19 |
-
1992
- 1992-04-28 JP JP4136125A patent/JP2598203B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01135565A (ja) * | 1987-11-23 | 1989-05-29 | Tatsumo Kk | 塗布装置 |
| JPH02116730U (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2598203B2 (ja) | 1997-04-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19961126 |
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