JPH0197548U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0197548U JPH0197548U JP19461187U JP19461187U JPH0197548U JP H0197548 U JPH0197548 U JP H0197548U JP 19461187 U JP19461187 U JP 19461187U JP 19461187 U JP19461187 U JP 19461187U JP H0197548 U JPH0197548 U JP H0197548U
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- JP
- Japan
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- spin chuck
- cup
- semiconductor manufacturing
- substrate
- semiconductor
- Prior art date
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
Description
第1図は本考案のレジスト塗布装置のカツプ部
を示す断面図、第2図は従来のレジスト塗布装置
のカツプ部の断面図である。 1…上カツプ、2…下カツプ、3…整流板、4
…スピンチヤツク、5…半導体基板、6…ノズル
、7…排気溝、8…モータ、9…回転翼。
を示す断面図、第2図は従来のレジスト塗布装置
のカツプ部の断面図である。 1…上カツプ、2…下カツプ、3…整流板、4
…スピンチヤツク、5…半導体基板、6…ノズル
、7…排気溝、8…モータ、9…回転翼。
Claims (1)
- 半導体基板をカツプ内のスピンチヤツクに吸着
し、スピンチヤツクの回転により該基板に遠心力
を作用させつつレジストを塗布する半導体製造装
置において、前記スピンチヤツクに、該スピンチ
ヤツクと一体に回転しカツプ内の上方から下方に
向けて気流を強制的に生じさせる回転翼を装備し
たことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19461187U JPH0197548U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19461187U JPH0197548U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0197548U true JPH0197548U (ja) | 1989-06-29 |
Family
ID=31485334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19461187U Pending JPH0197548U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0197548U (ja) |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP19461187U patent/JPH0197548U/ja active Pending