JPS6234425U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6234425U JPS6234425U JP11983285U JP11983285U JPS6234425U JP S6234425 U JPS6234425 U JP S6234425U JP 11983285 U JP11983285 U JP 11983285U JP 11983285 U JP11983285 U JP 11983285U JP S6234425 U JPS6234425 U JP S6234425U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- main surface
- chuck
- semiconductor wafer
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図ａはこの考案の一実施例を示す要部の断
面図、ｂはその作用説明図、第２図ａは従来のウ
エハ・チヤツクを示す要部の断面図、ｂはその作
用説明図である。 図中、１０はウエハ・チヤツク、１１は気体噴
出孔、３はウエハ、２０は真空吸引孔、４０は駆
動装置、５は容器、６はホトレジスト、９は気体
である。なお、各図中同一符号は同一または相当
部分を示す。
面図、ｂはその作用説明図、第２図ａは従来のウ
エハ・チヤツクを示す要部の断面図、ｂはその作
用説明図である。 図中、１０はウエハ・チヤツク、１１は気体噴
出孔、３はウエハ、２０は真空吸引孔、４０は駆
動装置、５は容器、６はホトレジスト、９は気体
である。なお、各図中同一符号は同一または相当
部分を示す。
補正 昭６１．９．２２
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
半導体ウエハの一方の主面を吸着し、他方の主
面に液体を滴下若しくは噴露して回転処理するた
めのウエハ・チヤツクにおいて、上記ウエハ・チ
ヤツクの回転軸にほぼ直角にかつ上記半導体ウエ
ハの一方の主面近傍位置より気体を噴出させて、
上記液体が上記半導体ウエハの一方の主面に回り
込まぬようにしたことを特徴とするウエハ・チヤ
ツク。
面に液体を滴下若しくは噴露して回転処理するた
めのウエハ・チヤツクにおいて、上記ウエハ・チ
ヤツクの回転軸にほぼ直角にかつ上記半導体ウエ
ハの一方の主面近傍位置より気体を噴出させて、
上記液体が上記半導体ウエハの一方の主面に回り
込まぬようにしたことを特徴とするウエハ・チヤ
ツク。
Claims (1)
- 半導体ウエハの一方の主面を吸着し、他方の主
面に液体を滴下して回転塗布するためのウエハ・
チヤツクにおいて、上記ウエハ・チヤツクの回転
軸にほぼ直角にかつ上記半導体ウエハの一方の主
面近傍位置より気体を噴出させて、上記液体が上
記半導体ウエハの一方の主面に回り込まぬように
したことを特徴とするウエハ・チヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11983285U JPS6234425U (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11983285U JPS6234425U (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6234425U true JPS6234425U (ja) | 1987-02-28 |
Family
ID=31007575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11983285U Pending JPS6234425U (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6234425U (ja) |
-
1985
- 1985-08-06 JP JP11983285U patent/JPS6234425U/ja active Pending
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