JPS626688Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案はフオトレジスト塗布装置に組み込ん
で用いる真空チヤツクの改良に関するものであ
る。

集積回路等の製造に当り、いわゆるフオトエツ
チングの技術が駆使されているが、その一工程と
して半導体ウエフアの表面にフオトレジストを塗
布乾燥する工程がある。フオトエツチングの各工
程はすべて集積回路におけるパターンの解像度に
影響するので、良質の集積回路を得るためにはフ
オトレジストの塗布並びに乾燥がバラツキなくし
かも各部均等に行なわれる必要がある。

第１図はこのような場合に用いられるフオトレ
ジスト塗布装置の従来の例を示すものである。こ
の塗布装置は、下部容器１と下部容器１の中心で
回転する真空チヤツク２と蓋３とによつて構成さ
れている。真空チヤツク２は頂部に円板状の吸着
部４を備え半導体ウエフアSWを吸着しつつ電動
機５によつて回転されるものである。また下部容
器１は半導体ウエフアSWにフオトレジストを塗
布する際、図示しないシリンダ装置によつて押し
上げられて蓋３と密着する構成がとられている。
蓋３の側にフオトレジストの噴射機構が設けら
れ、また下部容器１には吸気管６および下部にた
まつたフオトレジストの排出管７が設けられてい
る。

このフオトレジスト塗布装置において、吸着部
４としては半導体ウエフアSWに比し小径のもの
が用いられ、半導体ウエフアSWはその上に載置
吸引された状態にある。これはフオトレジスト塗
布装置の両側にフオーク状部を備えた第１および
第２の摺動テーブルを配設し、第１の摺動テーブ
ルに載せて半導体ウエフアSWを吸着部４上に運
び、フオトレジスト層８が形成された後にこれを
傷めないように第２の摺動テーブルに載せて次の
工程に運ぶためである。したがつて半導体ウエフ
アSWの下面に摺動テーブルのフオーク状部が挿
入されるだけの吸着部４よりはみ出した部分が必
要である。

ところが、このようにはみ出した部分がある
と、フオトレジスト塗布の際、噴射されたフオト
レジストの一部が、この部分に廻り込んで無用に
付着する不都合があり、特に半導体ウエフアSW
の両面を利用するような場合にはこれが表裏面不
均一の原因となり半導体装置としての特性を著し
く劣化させる欠点があつた。

この考案は上記の事情を解消するためのもの
で、チヤツク本体の中央凹部に嵌合する補助チヤ
ツク体を設けこのチヤツク体を昇降自在な構成と
するとともにチヤツク本体上面の形状を対象とす
る半導体ウエフアと略一致させることにより、ウ
エフアの供給並びに送出が容易であるとともにウ
エフアの裏面に対するフオトレジストの無用な付
着がなく均一かつ良質なものを得られるフオトレ
ジスト塗布装置用チヤツクを提供しようとするも
のである。

以下図面を参照してこの考案の一実施例を説明
る。第２図ａおよび同図ｂにおいて、チヤツク本
体１１は主チヤツク体１２およびこれを支持する
円筒状の胴部１３とよりなり、主チヤツク体１２
の中央に凹部１４が形成され、さらにその中心に
貫通孔１２′が設けられている。主チヤツク体１
２の上面の平面形状は、対象とする半導体ウエフ
アのそれと略同一の大きさに形成される。また主
チヤツク体１２の周縁部は下面が傾斜して尖鋭に
形成されている。

１５は前記凹部１４に嵌合する円板状の補助チ
ヤツク体１６を上部に有する可動体でこれに続く
円柱状の支持部１７および可動部１８を備えてい
る。可動部１８はチヤツク本体１１の円筒状の胴
部１３内を上下方向に摺動自在なもので、常時は
スプリング１９により下方に押圧され補助チヤツ
ク体１６が主チヤツク体１２の凹部１４内に位置
している。補助チヤツク体１６の外径は凹部１４
の内径よりも僅かに小さく両者の間に吸気用の間
隙が形成されるように構成されている。また前記
支持部１７は貫通孔１２′に遊嵌され支持部１７
がこの貫通孔１２′を案内としてその内部を円滑
に摺動して上下動し得るように構成されている。
補助チヤツク体１６の上面には放射状の細溝２０
が形成され、また主チヤツク体１２の上面にも放
射状の細溝２１ａおよびこれらの間を結ぶリング
状の細溝２１ｂが形成されている。これらの細溝
２０，２１ａおよび２１ｂは半導体ウエフアSW
を吸着する際空気の吸引路となるものである。ま
たチヤツク本体１１の胴部１３には垂直方向に沿
つて空気吸引路２２が形成され凹部１４に連通さ
れている。

チヤツク本体１１の胴部１３の下端に密封体２
３を介してフランジ２４が固定的に設けられる。
胴部１３の内部に形成された空気流通路２５はフ
ランジ２４に形成された空気流通路２６に連通さ
れ、その開放端は図示しない切換器を介して真空
装置または送風装置に導かれている。

またチヤツク本体１１は電動機２７によつて回
転されるものであり、この際可動体１５もまたチ
ヤツク本体１１とともに回転する構成がとられて
いる。

この考案のチヤツクは以上の構成よりなるもの
であるから、第１の摺動テーブルにより半導体ウ
エフアSWをこの装置上に載置する場合には切換
器により送風機に接続して空気流通路２６および
２５を介して胴部１３内に空気を送りその圧力を
高める。このようにすると可動部１８がスプリン
グ１９に抗して押し上げられ補助チヤツク体１６
が上昇した第２図ｂに示す状態になる。この状態
では補助チヤツク体１６の周囲に充分な空間があ
るので第１の摺動テーブルのフオーク状部を用い
て容易に補助チヤツク体１６上に運ぶことができ
る。

次いで胴部１３内の空気を抜いて可動体１５を
下降させ補助チヤツク体１６を主チヤツク体１２
の凹部１４内に収容すると補助チヤツク体１４の
上面は主チヤツク体１２の上面と一致し、半導体
ウエフアSWは主チヤツク体１２および補助チヤ
ツク体１６によつて形成される広い面積の円形部
によつて安定に支持されることになる。

次いで切換器により真空装置に切換えると、細
溝２０，２１ａ，２１ｂ、空気流通路２２，２５
および２６を通じて吸気され主チヤツク体１２お
よび補助チヤツク体１６上の半導体ウエフアSW
がこれらに吸着されて確実に保持された状態にな
る。

この状態で電動機２７によりチヤツク本体１１
および可動体１５を高速回転させ、半導体ウエフ
アSWが回転した状態でこれにフオトレジストを
塗布する。塗布が終ると再び空気を供給して補助
チヤツク体１６を上昇させ第２の摺動テーブルを
駆動させて半導体ウエフアSWとその上に載せこ
れを次段の工程に移動させる。

この考案のチヤツクは補助チヤツク体１６が上
昇して半導体ウエフアSWの周縁部に空間を作る
ことができるので摺動テーブルによりこれを操作
するのが容易であるとともに、フオトレジスト塗
着時にはその下面はこれと略同形の主チヤツク体
１２および補助チヤツク体１６により蔽われた状
態になるのでフオトレジストの無用な付着がなく
裏面を清潔に保つことができる。したがつて半導
体ウエフアSWの両面を利用するような場合にも
支障をきたすことがない。

また、主チヤツク体１２の周縁部は下面が傾斜
して尖鋭に形成されているので、先端部にフオト
レジストの付着することがなく、これがさらに次
の半導体ウエフアSWに付着してフオトレジスト
層の質を低下させるおそれがなく、常に良質のフ
オトレジスト層が得られるものである。

主チヤツク体１２の周縁部を尖鋭な形状とした
ことは、このチヤツクをホトレジスト塗布のため
にスピン回転させた際周辺の気流を乱すことがな
く気流の流れが安定するので均一な塗布を行ない
得ることに一層貢献する。

また、この考案はチヤツク本体１１に円筒状の
胴部１３を備え、一方可動体１５には可動部１８
を設けてこの可動部１８がシリンダに対するピス
トンのように胴部１３内を上下方向に摺動自在な
構成を備え、しかも可動体１５側の円柱状の支持
部１７が主チヤツク体１２の貫通孔１２′に遊嵌
され貫通孔１２′が案内となつて上下し高速回転
の際、チヤツク本体１１と可動体１５の相互関係
が安定し、さらに補助チヤツク体１６の上昇並び
に下降を円滑かつ安定して行ない得るものであ
る。

さらに、主チヤツク体１２と可動部１８の間に
介装されたスプリング１９は常時補助チヤツク体
１６が凹部１４に嵌合する方向に働き、しかも真
空装置による可動体１５に対する吸引力はスプリ
ング１９の作用と同一方向で協働する関係にする
ので半導体ウエフア吸着時に補助チヤツク体１６
を主チヤツク体１２に対して著しく安定に保つこ
とができる。

以上述べたようにこの考案によれば、チヤツク
本体の中央凹部に嵌合する補助チヤツク体を設け
このチヤツク体を昇降自在な構成とするとともに
チヤツク本体上面の形状を対象とする半導体ウエ
フアと略一致させることにより、ウエフアの供給
並びに送出が容易であるとともにウエフアの裏面
に対するフオトレジストの無用な付着がなく均一
かつ良質なものを得られるフオトレジスト塗布装
置用チヤツクを提供することができる。

なお、この考案は上記実施例に限定されるもの
ではなく要旨を変更しない範囲において種々変形
して実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のフオトレジスト塗布装置の概略
的な構成図、第２図はこの考案の一実施例を示す
ものでａは平面図、ｂは縦断正面図である。 １……下部容器、２……真空チヤツク、３……
蓋、４……吸着部、５……電動機、６……吸気
管、７……排出管、８……フオトレジスト層、１
１……チヤツク本体、１２……主チヤツク体、１
３……胴部、１４……凹部、１５……可動体、１
６……補助チヤツク体、１７……支持部、１８…
…可動部、１９……スプリング、２０……細溝、
２１ａ，２１ｂ……細溝、２２……空気流通路、
２３……密封体、２４……フランジ、２５，２６
……空気流通路、２７……電動機。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 対象とする半導体ウエフアと平面形状が略同一
   の上面をもつとともに周縁部の下面が傾斜して断
   面形状の角度が鋭角をなし尖鋭に形成された主チ
   ヤツク体およびこれを支持する円筒状の胴部を備
   え前記主チヤツク体の中央部に凹部を形成すると
   ともにさらにその中心に貫通孔を形成したチヤツ
   ク本体と、前記凹部に嵌合する補助チヤツク体を
   万部に備えこれに続き前記貫通孔に遊嵌される円
   柱状の支持部および前記円筒状の胴部内を上下方
   向に摺動自在な可動部を設けた可動体と、前記胴
   部内の前記主チヤツク体および前記可動部の間に
   介装され常時は前記補助チヤツク体が前記凹部に
   嵌合する方向に働くスプリングと、前記胴部の内
   部と切換器を介して連通される真空装置および送
   風装置と、前記主チヤツク体および補助チヤツク
   体の上面に半導体ウエフアを吸着させるための吸
   着手段と、前記チヤツク本体および可動体を高速
   回転させるための回転手段とを備えたことを特徴
   とするフオトレジスト塗布装置用チヤツク。