JPS63149521U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63149521U JPS63149521U JP4113287U JP4113287U JPS63149521U JP S63149521 U JPS63149521 U JP S63149521U JP 4113287 U JP4113287 U JP 4113287U JP 4113287 U JP4113287 U JP 4113287U JP S63149521 U JPS63149521 U JP S63149521U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- carrier gas
- container
- liquid raw
- discharge port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 4
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
第１図ないし第４図はこの考案の原料ガス発生
装置の１実施例を示し、第１図は切断正面図、第
２図は一部の切断正面図、第３図ａ，ｂは浮上体
の正面図および底面図、第４図は膜厚とＡｌ含有
量との関係図、第５図は従来例の切断正面図であ
る。 １……容器、２……流入口、３……排出口、４
……有機金属溶液、９……パイプ、１０……吐出
口、１１……バブル、１２……浮上体。
装置の１実施例を示し、第１図は切断正面図、第
２図は一部の切断正面図、第３図ａ，ｂは浮上体
の正面図および底面図、第４図は膜厚とＡｌ含有
量との関係図、第５図は従来例の切断正面図であ
る。 １……容器、２……流入口、３……排出口、４
……有機金属溶液、９……パイプ、１０……吐出
口、１１……バブル、１２……浮上体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 容器内の液体原料中に吐出口が位置したキヤリ
アガスの供給用パイプと、 前記容器の上部に形成され前記キヤリアガスお
よび前記液体原料の蒸気が排出される排出口と、 前記液体原料の液面に浮上し前記吐出口からの
キヤリアガスのバブルが当接する浮上体と を備えた原料ガス発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4113287U JPS63149521U (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4113287U JPS63149521U (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149521U true JPS63149521U (ja) | 1988-10-03 |
Family
ID=30855849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4113287U Pending JPS63149521U (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63149521U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008150709A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Air Products & Chemicals Inc | 高真空、大流量バブリング容器用の撥ねよけおよび導入部拡散器 |
| JP2010058169A (ja) * | 2008-08-08 | 2010-03-18 | Kazuhito Kito | フラックス供給装置およびフラックスタンク |
| JP2010221215A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Air Products & Chemicals Inc | 高流速真空気泡発生器容器用のスプラッシュガードを備えた容器 |
-
1987
- 1987-03-20 JP JP4113287U patent/JPS63149521U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008150709A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Air Products & Chemicals Inc | 高真空、大流量バブリング容器用の撥ねよけおよび導入部拡散器 |
| JP2010058169A (ja) * | 2008-08-08 | 2010-03-18 | Kazuhito Kito | フラックス供給装置およびフラックスタンク |
| JP2010221215A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Air Products & Chemicals Inc | 高流速真空気泡発生器容器用のスプラッシュガードを備えた容器 |
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