JPH0338628U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２
図は第１図の平面図、第３図は第１図の側面図、
第４図は本考案に係るシヤワーノズルの取付け状
態を説明する説明図、第５図は本考案の第２の実
施例を示す図、第６図は本考案の第３の実施例を
示す図、第７図は従来のシヤワーノズルの取付け
状態を説明する説明図である。 １……外槽、２……内槽、３……支柱（丸棒）
、４……内槽受台、５……排水用穴、６……スペ
ーサ、７……キヤリア台底板、８……ボルト、９
……キヤリア台、１０……キヤリア、１１……キ
ヤリアガイド、１２……ボルト、１３……ウエハ
ー、１４……支持アングル、１５……シヤワーパ
イプ受け、１６，１７……シヤワーパイプ、１８
，１９……シヤワーノズル、２０，２１……給水
用パイプ、２２……噴流用パイプ、２２ａ……バ
ブリング用穴、２３……温度センサ、２４……排
水弁、２５……エアー吸入口、２６……排水口、
２８……シヤワーノズル受部、２９……シヤワー
ノズル、３０……ナツト、３１……連結ホース、
３２……エアーシリンダ、３３……ロツド。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 複数枚の板状に形成された半導体基板が収
   納可能なキヤリアと、該キヤリアが収納されて載
   置可能な槽と、該槽の上方であつて前記キヤリア
   内に収納された半導体基板の板面と平行に且つ交
   互に対向して配置された複数のシヤワーノズルと
   、該複数のシヤワーノズルが装着されるシヤワー
   パイプとを備え、前記シヤワーノズル先端は前記
   半導体基板の板面に対して向くように所定角度傾
   斜して設けられたことを特徴とする洗浄装置。 (2) 前記シヤワーノズルは、その先端角度を自
   由に可変できるように構成されたことを特徴とす
   る請求項１記載の洗浄装置。 (3) 前記シヤワーパイプは、前記キヤリア内に
   収納される半導体基板の板面と交叉する方向に摺
   動可能に構成されたことを特徴とする請求項１記
   載の洗浄装置。