JPS6030534U - ウエフア洗浄用シャワ−槽 - Google Patents
ウエフア洗浄用シャワ−槽Info
- Publication number
- JPS6030534U JPS6030534U JP12132083U JP12132083U JPS6030534U JP S6030534 U JPS6030534 U JP S6030534U JP 12132083 U JP12132083 U JP 12132083U JP 12132083 U JP12132083 U JP 12132083U JP S6030534 U JPS6030534 U JP S6030534U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shower tub
- wafer
- rod
- wafers
- washing wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 title 1
- 101150114468 TUB1 gene Proteins 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は実施例の正面断面図。第２図は側面断面図。
１・・・シャワ一槽、２・・・キャリア、３・・・ガイ
ド、４・・・キャリア収納槽、５・・・キャリア置台、
６・・・ウェファ、７・・・ウェファ保持台、８・・・
シリンダー、９・・・ロッド、１０・・・ノズル。
ド、４・・・キャリア収納槽、５・・・キャリア置台、
６・・・ウェファ、７・・・ウェファ保持台、８・・・
シリンダー、９・・・ロッド、１０・・・ノズル。
Claims (1)
- シャワ一槽１の底面外部に固定して、摺動自在のロッド
９を内部に配したシリンダー８が設けられており、シャ
ワーで水洗いを行う際に、前記シャワ一槽１の底面に設
けたキャリア置台５の上に、ウェファ６を収納したキャ
リア２がのせられ、該ウェファ６を保持しているウェフ
ァ保持台７の底部が、前記ロッド９の先端で押し上げら
れるようにロッド９が駆動され、前記キャリア２の゛
外に出された前記ウェファ６を、前記シャワ一槽１の
上部壁面に配設されたノズル１０から放出されるシャワ
ーで水洗いするように構成されたウェファ洗浄用シャワ
一槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12132083U JPS6030534U (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | ウエフア洗浄用シャワ−槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12132083U JPS6030534U (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | ウエフア洗浄用シャワ−槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6030534U true JPS6030534U (ja) | 1985-03-01 |
Family
ID=30277721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12132083U Pending JPS6030534U (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | ウエフア洗浄用シャワ−槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6030534U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0338628U (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-15 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5151162A (ja) * | 1974-10-30 | 1976-05-06 | Hitachi Ltd | Itajobutsusenjojigu |
-
1983
- 1983-08-05 JP JP12132083U patent/JPS6030534U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5151162A (ja) * | 1974-10-30 | 1976-05-06 | Hitachi Ltd | Itajobutsusenjojigu |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0338628U (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-15 |
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