JPS6030534U - ウエフア洗浄用シャワ−槽 - Google Patents
ウエフア洗浄用シャワ−槽Info
- Publication number
- JPS6030534U JPS6030534U JP12132083U JP12132083U JPS6030534U JP S6030534 U JPS6030534 U JP S6030534U JP 12132083 U JP12132083 U JP 12132083U JP 12132083 U JP12132083 U JP 12132083U JP S6030534 U JPS6030534 U JP S6030534U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shower tub
- wafer
- rod
- wafers
- washing wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は実施例の正面断面図。第2図は側面断面図。
1・・・シャワ一槽、2・・・キャリア、3・・・ガイ
ド、4・・・キャリア収納槽、5・・・キャリア置台、
6・・・ウェファ、7・・・ウェファ保持台、8・・・
シリンダー、9・・・ロッド、10・・・ノズル。
ド、4・・・キャリア収納槽、5・・・キャリア置台、
6・・・ウェファ、7・・・ウェファ保持台、8・・・
シリンダー、9・・・ロッド、10・・・ノズル。
Claims (1)
- シャワ一槽1の底面外部に固定して、摺動自在のロッド
9を内部に配したシリンダー8が設けられており、シャ
ワーで水洗いを行う際に、前記シャワ一槽1の底面に設
けたキャリア置台5の上に、ウェファ6を収納したキャ
リア2がのせられ、該ウェファ6を保持しているウェフ
ァ保持台7の底部が、前記ロッド9の先端で押し上げら
れるようにロッド9が駆動され、前記キャリア2の゛
外に出された前記ウェファ6を、前記シャワ一槽1の
上部壁面に配設されたノズル10から放出されるシャワ
ーで水洗いするように構成されたウェファ洗浄用シャワ
一槽。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12132083U JPS6030534U (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | ウエフア洗浄用シャワ−槽 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12132083U JPS6030534U (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | ウエフア洗浄用シャワ−槽 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6030534U true JPS6030534U (ja) | 1985-03-01 |
Family
ID=30277721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12132083U Pending JPS6030534U (ja) | 1983-08-05 | 1983-08-05 | ウエフア洗浄用シャワ−槽 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6030534U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0338628U (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-15 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5151162A (ja) * | 1974-10-30 | 1976-05-06 | Hitachi Ltd | Itajobutsusenjojigu |
-
1983
- 1983-08-05 JP JP12132083U patent/JPS6030534U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5151162A (ja) * | 1974-10-30 | 1976-05-06 | Hitachi Ltd | Itajobutsusenjojigu |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0338628U (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-15 |
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