JPH1050652A - 下降整流式洗浄槽 - Google Patents
下降整流式洗浄槽Info
- Publication number
- JPH1050652A JPH1050652A JP19922796A JP19922796A JPH1050652A JP H1050652 A JPH1050652 A JP H1050652A JP 19922796 A JP19922796 A JP 19922796A JP 19922796 A JP19922796 A JP 19922796A JP H1050652 A JPH1050652 A JP H1050652A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- tank
- outer tank
- upper edge
- overflow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来技術による下降整流式の洗浄槽において
は空気中から沈降したダストが水面に浮遊し、洗浄が完
了した被洗浄物を洗浄槽から取り出すときにダストが付
着して汚染するという問題点があり、これを解決するこ
とが本発明の課題である。 【解決手段】 本発明によれば、洗浄槽の外槽の上縁の
少なくとも一部の周縁を囲んでオーバフロー水を受ける
樋を設け、外槽の上縁の一辺と該一辺に対向する２つの
隅角部から所望の時に水をオーバフローさせて浮遊物を
除去するようにした下降整流式洗浄槽が提供される。
は空気中から沈降したダストが水面に浮遊し、洗浄が完
了した被洗浄物を洗浄槽から取り出すときにダストが付
着して汚染するという問題点があり、これを解決するこ
とが本発明の課題である。 【解決手段】 本発明によれば、洗浄槽の外槽の上縁の
少なくとも一部の周縁を囲んでオーバフロー水を受ける
樋を設け、外槽の上縁の一辺と該一辺に対向する２つの
隅角部から所望の時に水をオーバフローさせて浮遊物を
除去するようにした下降整流式洗浄槽が提供される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は洗浄槽に関しており、特
にウエーハなどの洗浄に適する下降整流式洗浄槽に関す
る。
にウエーハなどの洗浄に適する下降整流式洗浄槽に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ウエーハなどの洗浄に使用する下降整流
式洗浄槽については、先に特開平７−１１８０５０号公
報として特許出願をしている。
式洗浄槽については、先に特開平７−１１８０５０号公
報として特許出願をしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の下降整流式洗浄
槽では空気中から沈降したダストが水面に浮遊して滞留
し、洗浄が完了した被洗浄物を洗浄槽から取り出すとき
被洗浄物に付着するという問題点がある。
槽では空気中から沈降したダストが水面に浮遊して滞留
し、洗浄が完了した被洗浄物を洗浄槽から取り出すとき
被洗浄物に付着するという問題点がある。
【０００４】液面に浮遊するダストを除去するためには
水を洗浄槽の上縁からオーバフローさせることが有効で
あり、そのためには供給水の流量を排水流量より大とし
て液面を上昇せしめ供給水の一部をオーバフローさせれ
ばよい。しかし、この場合に槽の水面の浮遊粒子を完全
に効果的に迅速に除去することに問題がある。
水を洗浄槽の上縁からオーバフローさせることが有効で
あり、そのためには供給水の流量を排水流量より大とし
て液面を上昇せしめ供給水の一部をオーバフローさせれ
ばよい。しかし、この場合に槽の水面の浮遊粒子を完全
に効果的に迅速に除去することに問題がある。
【０００５】本発明は上述従来技術における課題を解決
する洗浄槽を提供することを目的とする。
する洗浄槽を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、洗浄槽
の外槽の上縁の少なくとも一部の周縁を囲んでオーバフ
ロー水を受ける樋を設けた下降整流式洗浄槽が提供され
る。
の外槽の上縁の少なくとも一部の周縁を囲んでオーバフ
ロー水を受ける樋を設けた下降整流式洗浄槽が提供され
る。
【０００７】望ましくは洗浄槽の外槽の平面形状をほぼ
矩形とし、オーバフロー水を受ける樋を外槽の上縁を囲
んで設け、外槽の上縁の一辺と該一辺に対向する２つの
隅角部からオーバフローせしめるようにする。
矩形とし、オーバフロー水を受ける樋を外槽の上縁を囲
んで設け、外槽の上縁の一辺と該一辺に対向する２つの
隅角部からオーバフローせしめるようにする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、水面の浮遊粒子を完全に効果
的に迅速に除去することが可能であり、洗浄が完了した
被洗浄物を洗浄槽から取り出すとき浮遊粒子が被洗浄物
に付着するという問題点は完全に解決される。
的に迅速に除去することが可能であり、洗浄が完了した
被洗浄物を洗浄槽から取り出すとき浮遊粒子が被洗浄物
に付着するという問題点は完全に解決される。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を添付図面を参照して説明す
れば、図１は本発明の実施例として示す下降整流式洗浄
槽の概略斜視図であり、図２は図１の洗浄槽の概略平面
図である。
れば、図１は本発明の実施例として示す下降整流式洗浄
槽の概略斜視図であり、図２は図１の洗浄槽の概略平面
図である。
【００１０】図示する下降整流式洗浄槽は、平面形状が
ほぼ矩形の内槽と、内槽の上部部分を囲んで設けられた
外槽と、外槽の上縁を囲んで設けられたオーバフロー水
受樋とを含み、内槽の中央部下端にはポンプ排水用ポー
トが設けられ、外槽の下端には４つの供給水用ポート
（１）、（２）、（３）、（４）がそれぞれ各辺の中央
部に設けられており、オーバフロー水受樋の一辺の下端
中央部にはオーバフロー排水ポートが設けられる。
ほぼ矩形の内槽と、内槽の上部部分を囲んで設けられた
外槽と、外槽の上縁を囲んで設けられたオーバフロー水
受樋とを含み、内槽の中央部下端にはポンプ排水用ポー
トが設けられ、外槽の下端には４つの供給水用ポート
（１）、（２）、（３）、（４）がそれぞれ各辺の中央
部に設けられており、オーバフロー水受樋の一辺の下端
中央部にはオーバフロー排水ポートが設けられる。
【００１１】外槽の上縁の一辺と該一辺に対向する２つ
の隅角部の上縁には外槽からオーバフロー水受樋にオー
バフローせしめるための切欠部が設けられている。な
お、切欠部が設けられた一辺に対応する一辺の下端中央
部に前述オーバフロー排水ポートが設けられている。
の隅角部の上縁には外槽からオーバフロー水受樋にオー
バフローせしめるための切欠部が設けられている。な
お、切欠部が設けられた一辺に対応する一辺の下端中央
部に前述オーバフロー排水ポートが設けられている。
【００１２】望ましくは外槽の上縁は内槽の上縁より５
０ｍｍ程度高くなされ、外槽の一辺と該一辺に対向する
２つの隅角部に設けたオーバフローせしめる切欠部の深
さは２０ｍｍ程度となされる。
０ｍｍ程度高くなされ、外槽の一辺と該一辺に対向する
２つの隅角部に設けたオーバフローせしめる切欠部の深
さは２０ｍｍ程度となされる。
【００１３】４つの供給水用ポート（１）、（２）、
（３）、（４）のうち、２つの隅角部に設けたオーバフ
ローせしめる切欠部に近い距離にある供給水用ポート
（１）は供給水用ポートとオーバフロー水供給用ポート
すなわち表面水清浄化用ポートとを兼ねるものとなされ
ている。
（３）、（４）のうち、２つの隅角部に設けたオーバフ
ローせしめる切欠部に近い距離にある供給水用ポート
（１）は供給水用ポートとオーバフロー水供給用ポート
すなわち表面水清浄化用ポートとを兼ねるものとなされ
ている。
【００１４】供給水用の配管を図３に示すが、正常時に
は弁（Ｖ１）、（Ｖ２）、（Ｖ３）を開き、且つ弁（Ｖ
３）の開き度を調節して、ポート（１）、（２）、
（３）、（４）にほぼ均等に水を流す。そのとき内槽に
連結されたポンプ排水用ポートから合計供給水流量に釣
合うように排水する。このとき液面が内槽上面より２０
〜３０ｍｍ高い位置にあるように調節すれば、流量が釣
合っている限り液面は一定位置に維持される。
は弁（Ｖ１）、（Ｖ２）、（Ｖ３）を開き、且つ弁（Ｖ
３）の開き度を調節して、ポート（１）、（２）、
（３）、（４）にほぼ均等に水を流す。そのとき内槽に
連結されたポンプ排水用ポートから合計供給水流量に釣
合うように排水する。このとき液面が内槽上面より２０
〜３０ｍｍ高い位置にあるように調節すれば、流量が釣
合っている限り液面は一定位置に維持される。
【００１５】表面水を清浄化するときは排水ポンプを停
止せしめ、同時に弁（Ｖ２）を閉じる。供給水は弁（Ｖ
１）、（Ｖ３）を通って全流量がポート（１）から供給
される。排水が行われないため、液面は上昇して外槽上
縁に設けた切欠部からオーバフローするようになる。
止せしめ、同時に弁（Ｖ２）を閉じる。供給水は弁（Ｖ
１）、（Ｖ３）を通って全流量がポート（１）から供給
される。排水が行われないため、液面は上昇して外槽上
縁に設けた切欠部からオーバフローするようになる。
【００１６】このときの表面水の流れを水面に散布した
トレーサ粒子の動きで観察した結果を図４に示す。図４
に示すようにトレーサ粒子は水面に滞留することなく、
流量にもよるが１０〜２０秒で完全に排出される。ポー
ト（１）からの流れが大きい切欠部に向かう流れと２つ
の隅角部に設けた切欠部に向かう流れとになって滞留部
分がなく表面水が完全に排出されることが判る。
トレーサ粒子の動きで観察した結果を図４に示す。図４
に示すようにトレーサ粒子は水面に滞留することなく、
流量にもよるが１０〜２０秒で完全に排出される。ポー
ト（１）からの流れが大きい切欠部に向かう流れと２つ
の隅角部に設けた切欠部に向かう流れとになって滞留部
分がなく表面水が完全に排出されることが判る。
【００１７】表面水の清浄化が終了したら弁（Ｖ１）を
一時的に閉じ、排水ポンプを作動せしめる。これにより
槽内の液面は低下する。レベルセンサにより所定の液面
に到達したら弁（Ｖ１）、（Ｖ２）を開き、供給水量と
排出水量とを釣合わせて、所望の液面レベルが動的に達
成されるようにする。
一時的に閉じ、排水ポンプを作動せしめる。これにより
槽内の液面は低下する。レベルセンサにより所定の液面
に到達したら弁（Ｖ１）、（Ｖ２）を開き、供給水量と
排出水量とを釣合わせて、所望の液面レベルが動的に達
成されるようにする。
【００１８】表面水清浄化処理操作は、弁（Ｖ１）、
（Ｖ２）を自動流体圧操作弁とし、給水および排水ポン
プのスイッチと共にシーケンサによってプログラム制御
するようにしておけば、自動的に行うことができる。
（Ｖ２）を自動流体圧操作弁とし、給水および排水ポン
プのスイッチと共にシーケンサによってプログラム制御
するようにしておけば、自動的に行うことができる。
【００１９】洗浄雰囲気の清浄度が悪く、空気中から沈
降するダストが多い場合には、洗浄プロセスの最後に３
０秒から１分間程度の表面水清浄化処理操作を行うよう
にプログラムを組む。そうすれば、洗浄が完了した品物
を洗浄槽から取出すときに生ずる粒子付着が完全に防止
される。
降するダストが多い場合には、洗浄プロセスの最後に３
０秒から１分間程度の表面水清浄化処理操作を行うよう
にプログラムを組む。そうすれば、洗浄が完了した品物
を洗浄槽から取出すときに生ずる粒子付着が完全に防止
される。
【００２０】なお、洗浄雰囲気の清浄度が良く、液面に
浮遊するダストが少ない場合には液面の状態をみて処理
操作を行えばよい。
浮遊するダストが少ない場合には液面の状態をみて処理
操作を行えばよい。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、水面の浮遊粒子を完全
に効果的に迅速に除去することが可能であり、洗浄が完
了した被洗浄物を洗浄槽から取り出すとき浮遊粒子が被
洗浄物に付着するという問題点は完全に解決される。
に効果的に迅速に除去することが可能であり、洗浄が完
了した被洗浄物を洗浄槽から取り出すとき浮遊粒子が被
洗浄物に付着するという問題点は完全に解決される。
【図１】図１は本発明の実施例として示す下降整流式洗
浄槽の概略斜視図。
浄槽の概略斜視図。
【図２】図２は図１の下降整流式洗浄槽の上面平面図。
【図３】図３は本発明の下降整流式洗浄槽の供給水配管
の概略図。
の概略図。
【図４】図４は本発明による表面水の清浄化作業時の表
面水の流れを示す概略図。
面水の流れを示す概略図。
（１） 供給水および表面清浄化水供給用ポート （２） 供給水用ポート （３） 供給水用ポート （４） 供給水用ポート （Ｖ１） バルブ （Ｖ２） バルブ （Ｖ３） バルブ
Claims (2)
- 【請求項１】洗浄槽の外槽の上縁の少なくとも一部の周
縁を囲んでオーバフロー水を受ける樋を設けたことを特
徴とする下降整流式洗浄槽。 - 【請求項２】洗浄槽の外槽の平面形状をほぼ矩形とし、
オーバフロー水を受ける樋を外槽の上縁を囲んで設け、
外槽の上縁の一辺と該一辺に対向する２つの隅角部から
オーバフローせしめるようにしたことを特徴とする請求
項１に記載の下降整流式洗浄槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19922796A JPH1050652A (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 下降整流式洗浄槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19922796A JPH1050652A (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 下降整流式洗浄槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1050652A true JPH1050652A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16404271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19922796A Pending JPH1050652A (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 下降整流式洗浄槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1050652A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104690030A (zh) * | 2013-12-05 | 2015-06-10 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种改造后的硅片清洗机用槽体 |
| CN104902592A (zh) * | 2015-05-07 | 2015-09-09 | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 | 高温石英加热槽及制作方法 |
-
1996
- 1996-07-29 JP JP19922796A patent/JPH1050652A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104690030A (zh) * | 2013-12-05 | 2015-06-10 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种改造后的硅片清洗机用槽体 |
| CN104902592A (zh) * | 2015-05-07 | 2015-09-09 | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 | 高温石英加热槽及制作方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050607 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050621 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051025 |