JPS6295862U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6295862U JPS6295862U JP1985185979U JP18597985U JPS6295862U JP S6295862 U JPS6295862 U JP S6295862U JP 1985185979 U JP1985185979 U JP 1985185979U JP 18597985 U JP18597985 U JP 18597985U JP S6295862 U JPS6295862 U JP S6295862U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing device
- liquid
- workpiece
- fluid pressure
- pressure source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す全体の正面
図、第２図は同じく要部の断面図である。 １２……保持ヘツド、１２ａ……マウンテイン
グパツド、１３……ワーク保持面、１７……液体
圧送装置（流体圧源）、２０……流通孔、ａ……
ワーク。
図、第２図は同じく要部の断面図である。 １２……保持ヘツド、１２ａ……マウンテイン
グパツド、１３……ワーク保持面、１７……液体
圧送装置（流体圧源）、２０……流通孔、ａ……
ワーク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 保持ヘツドのワーク保持面に液体の表面張
力を利用したマウンテイングパツドによりワーク
を装着保持し、このワークを研磨台に接触させて
研磨するものにおいて、上記保持ヘツドのワーク
保持面に流通孔を形成し、この流通孔に流体圧源
を接続したことを特徴とするポリシング装置。 (2) 流体圧源は液体を吐出する液体圧送装置で
あることを特徴とした実用新案登録請求の範囲第
１記載のポリシング装置。 (3) 液体は純水であることを特徴とした実用新
案登録請求の範囲第２項記載のポリシング装置。 (4) 流体圧源は気体を吐出する気体圧送装置で
あることを特徴とした実用新案登録請求の範囲第
１項記載のポリシング装置。 (5) 気体はエアーであることを特徴とした実用
新案登録請求の範囲第４項記載のポリシング装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985185979U JPS6295862U (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985185979U JPS6295862U (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295862U true JPS6295862U (ja) | 1987-06-18 |
Family
ID=31135114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985185979U Pending JPS6295862U (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6295862U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0855826A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Nec Corp | 研磨方法および研磨装置 |
| JP2018183848A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 株式会社岡本工作機械製作所 | チャック装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840338B2 (ja) * | 1976-03-19 | 1983-09-05 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置の製造法 |
| JPS6016361A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-28 | Toshiba Corp | ウエ−ハ剥離方法 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP1985185979U patent/JPS6295862U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840338B2 (ja) * | 1976-03-19 | 1983-09-05 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置の製造法 |
| JPS6016361A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-28 | Toshiba Corp | ウエ−ハ剥離方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0855826A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Nec Corp | 研磨方法および研磨装置 |
| JP2018183848A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 株式会社岡本工作機械製作所 | チャック装置 |