JPH0167736U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0167736U JPH0167736U JP1987162189U JP16218987U JPH0167736U JP H0167736 U JPH0167736 U JP H0167736U JP 1987162189 U JP1987162189 U JP 1987162189U JP 16218987 U JP16218987 U JP 16218987U JP H0167736 U JPH0167736 U JP H0167736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- back side
- chuck
- view
- developer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
Description
第1図aは本考案の第1の実施例を示す平面図
、第1図bは同縦断面図、第1図cはリンス及び
回転乾燥中を示す図、第2図aは本考案の第2の
実施例を示す平面図、第2図bは同縦断面図、第
2図cはリンス及び乾燥中を示す図、第3図aは
従来例を示す平面図、第3図bは同縦断面図であ
る。 1……ウエハー、2……チヤツク、3……チヤ
ツク吸着面、4……Oリング、5……カツプ、6
……リング、7……ベアリング、8……スピンモ
ータ軸、9……現像液、10……ノズル。
、第1図bは同縦断面図、第1図cはリンス及び
回転乾燥中を示す図、第2図aは本考案の第2の
実施例を示す平面図、第2図bは同縦断面図、第
2図cはリンス及び乾燥中を示す図、第3図aは
従来例を示す平面図、第3図bは同縦断面図であ
る。 1……ウエハー、2……チヤツク、3……チヤ
ツク吸着面、4……Oリング、5……カツプ、6
……リング、7……ベアリング、8……スピンモ
ータ軸、9……現像液、10……ノズル。
Claims (1)
- チヤツクに吸着されたウエハーの裏面を覆い該
ウエハー裏面への現像液の付着を防止する機構を
装備したことを特徴とするポジ現像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987162189U JPH0167736U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987162189U JPH0167736U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0167736U true JPH0167736U (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=31445790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987162189U Pending JPH0167736U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0167736U (ja) |
-
1987
- 1987-10-23 JP JP1987162189U patent/JPH0167736U/ja active Pending