JPH0167736U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0167736U JPH0167736U JP1987162189U JP16218987U JPH0167736U JP H0167736 U JPH0167736 U JP H0167736U JP 1987162189 U JP1987162189 U JP 1987162189U JP 16218987 U JP16218987 U JP 16218987U JP H0167736 U JPH0167736 U JP H0167736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- back side
- chuck
- view
- developer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
Description
第１図ａは本考案の第１の実施例を示す平面図
、第１図ｂは同縦断面図、第１図ｃはリンス及び
回転乾燥中を示す図、第２図ａは本考案の第２の
実施例を示す平面図、第２図ｂは同縦断面図、第
２図ｃはリンス及び乾燥中を示す図、第３図ａは
従来例を示す平面図、第３図ｂは同縦断面図であ
る。 １……ウエハー、２……チヤツク、３……チヤ
ツク吸着面、４……Ｏリング、５……カツプ、６
……リング、７……ベアリング、８……スピンモ
ータ軸、９……現像液、１０……ノズル。
、第１図ｂは同縦断面図、第１図ｃはリンス及び
回転乾燥中を示す図、第２図ａは本考案の第２の
実施例を示す平面図、第２図ｂは同縦断面図、第
２図ｃはリンス及び乾燥中を示す図、第３図ａは
従来例を示す平面図、第３図ｂは同縦断面図であ
る。 １……ウエハー、２……チヤツク、３……チヤ
ツク吸着面、４……Ｏリング、５……カツプ、６
……リング、７……ベアリング、８……スピンモ
ータ軸、９……現像液、１０……ノズル。
Claims (1)
- チヤツクに吸着されたウエハーの裏面を覆い該
ウエハー裏面への現像液の付着を防止する機構を
装備したことを特徴とするポジ現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987162189U JPH0167736U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987162189U JPH0167736U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0167736U true JPH0167736U (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=31445790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987162189U Pending JPH0167736U (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0167736U (ja) |
-
1987
- 1987-10-23 JP JP1987162189U patent/JPH0167736U/ja active Pending