JPS59192836U - ジエツトスクラバ−装置の載置台 - Google Patents
ジエツトスクラバ−装置の載置台Info
- Publication number
- JPS59192836U JPS59192836U JP8865883U JP8865883U JPS59192836U JP S59192836 U JPS59192836 U JP S59192836U JP 8865883 U JP8865883 U JP 8865883U JP 8865883 U JP8865883 U JP 8865883U JP S59192836 U JPS59192836 U JP S59192836U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting table
- device mounting
- jet scrubber
- scrubber device
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２、 図
は本考案の一実施例を示す断面図、第３図は来者愛の載
置台を使用したジェットスクラバー装置の概念図である
。 １・・・載置台、４・・・支持面、７・・・ジェットノ
ズル、８・・・Ｎ２吹き出しノズル。
は本考案の一実施例を示す断面図、第３図は来者愛の載
置台を使用したジェットスクラバー装置の概念図である
。 １・・・載置台、４・・・支持面、７・・・ジェットノ
ズル、８・・・Ｎ２吹き出しノズル。
Claims (1)
- 回転駆動される載置台本体の外周面に、ウェハーを傾斜
状に支える複数個の支持面を設け、該載置台本体の支持
面に向けて洗浄用及び乾燥用ノズルを配設したことを特
徴とするジェットスクラバー装置の載置台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8865883U JPS59192836U (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | ジエツトスクラバ−装置の載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8865883U JPS59192836U (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | ジエツトスクラバ−装置の載置台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59192836U true JPS59192836U (ja) | 1984-12-21 |
Family
ID=30218567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8865883U Pending JPS59192836U (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | ジエツトスクラバ−装置の載置台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59192836U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61164043U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-11 |
-
1983
- 1983-06-10 JP JP8865883U patent/JPS59192836U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61164043U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-11 |
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