JPS60130634U - ジエツトスクラバ−装置 - Google Patents
ジエツトスクラバ−装置Info
- Publication number
- JPS60130634U JPS60130634U JP1826984U JP1826984U JPS60130634U JP S60130634 U JPS60130634 U JP S60130634U JP 1826984 U JP1826984 U JP 1826984U JP 1826984 U JP1826984 U JP 1826984U JP S60130634 U JPS60130634 U JP S60130634U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jet scrubber
- scrubber equipment
- mounting table
- equipment
- jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は本考案の
一実施例によるジェットスクラバーの概念図である。 １・・・・・・逆多角錐、２・・・・・・矩形塵グリ、
３・・・・・・排水穴、４・・・・・・連結子、５・・
・・・・純水吹き出しノズル、６・・・・・・窒素吹き
出しノズル。
一実施例によるジェットスクラバーの概念図である。 １・・・・・・逆多角錐、２・・・・・・矩形塵グリ、
３・・・・・・排水穴、４・・・・・・連結子、５・・
・・・・純水吹き出しノズル、６・・・・・・窒素吹き
出しノズル。
Claims (1)
- 逆多角錐状の載置台を有し、各面に複数枚の矩形ウェハ
ーを載置して頂点を中心に該載置台を回転させる事を特
徴とするジェットスクラバー゛装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1826984U JPS60130634U (ja) | 1984-02-10 | 1984-02-10 | ジエツトスクラバ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1826984U JPS60130634U (ja) | 1984-02-10 | 1984-02-10 | ジエツトスクラバ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60130634U true JPS60130634U (ja) | 1985-09-02 |
Family
ID=30506744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1826984U Pending JPS60130634U (ja) | 1984-02-10 | 1984-02-10 | ジエツトスクラバ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60130634U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115279525A (zh) * | 2020-04-03 | 2022-11-01 | 平田机工株式会社 | 焊料切断装置、焊料切断单元、零件安装装置及生产系统 |
-
1984
- 1984-02-10 JP JP1826984U patent/JPS60130634U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115279525A (zh) * | 2020-04-03 | 2022-11-01 | 平田机工株式会社 | 焊料切断装置、焊料切断单元、零件安装装置及生产系统 |
| CN115279525B (zh) * | 2020-04-03 | 2024-05-14 | 平田机工株式会社 | 焊料切断装置、焊料切断单元、零件安装装置及生产系统 |
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