JPS5899831U - ウエハグリツプ装置 - Google Patents
ウエハグリツプ装置Info
- Publication number
- JPS5899831U JPS5899831U JP19291881U JP19291881U JPS5899831U JP S5899831 U JPS5899831 U JP S5899831U JP 19291881 U JP19291881 U JP 19291881U JP 19291881 U JP19291881 U JP 19291881U JP S5899831 U JPS5899831 U JP S5899831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer grip
- grip equipment
- wafer
- equipment
- opening
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- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本案装置の１例の斜面図、第２図はその要部の
拡大した作動状態の−“部を截除した側面図、第３図は
その下面図、第４図はその変形例の一部の断面図である
。 １・・・・・・作動アーム、２・・・・・・基板、３・
・・・・・ハウジング、４・・・・・・開口、５・・・
・・・弾性チューブ。
拡大した作動状態の−“部を截除した側面図、第３図は
その下面図、第４図はその変形例の一部の断面図である
。 １・・・・・・作動アーム、２・・・・・・基板、３・
・・・・・ハウジング、４・・・・・・開口、５・・・
・・・弾性チューブ。
Claims (1)
- 作動アーム１の先端の基板２の下面に、下方に突出する
筒状のハウジング３を円周上の少（とも３個に並設して
これに各中心側の開口４を形成させると共にその内部に
加圧によれば膨張する各弾性チューブ５を長さ方向に支
承させて収容して成るウェハグリップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19291881U JPS5899831U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | ウエハグリツプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19291881U JPS5899831U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | ウエハグリツプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5899831U true JPS5899831U (ja) | 1983-07-07 |
Family
ID=30106299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19291881U Pending JPS5899831U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | ウエハグリツプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5899831U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03101247A (ja) * | 1988-11-30 | 1991-04-26 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
-
1981
- 1981-12-26 JP JP19291881U patent/JPS5899831U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03101247A (ja) * | 1988-11-30 | 1991-04-26 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
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