JPS58164237U - ウエハグリツプ装置 - Google Patents
ウエハグリツプ装置Info
- Publication number
- JPS58164237U JPS58164237U JP6052182U JP6052182U JPS58164237U JP S58164237 U JPS58164237 U JP S58164237U JP 6052182 U JP6052182 U JP 6052182U JP 6052182 U JP6052182 U JP 6052182U JP S58164237 U JPS58164237 U JP S58164237U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- release
- wafer grip
- leaf spring
- grip equipment
- facing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案装置の１例の斜視図、第２図はその要部
の拡大図である。 １・・・作動アーム、２・・・基板、３・・・板ばね、
４・・・レリーズ、５・・・往復動装置、６・・・駆動
部材。
の拡大図である。 １・・・作動アーム、２・・・基板、３・・・板ばね、
４・・・レリーズ、５・・・往復動装置、６・・・駆動
部材。
Claims (1)
- 作動アーム１の先端の基板２に、下方に突出させて少な
くとも３個の板ばね３を環状に配置し、各板ばね３の内
側にレリーズ４の一端を臨ませ、各レリーズ４の他端を
エアシリンダその他の往復動装置５に連接させて該レリ
ーズ４の駆動部材６を移動自在に構成して成るウェハグ
リップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052182U JPS58164237U (ja) | 1982-04-27 | 1982-04-27 | ウエハグリツプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052182U JPS58164237U (ja) | 1982-04-27 | 1982-04-27 | ウエハグリツプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58164237U true JPS58164237U (ja) | 1983-11-01 |
Family
ID=30070765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6052182U Pending JPS58164237U (ja) | 1982-04-27 | 1982-04-27 | ウエハグリツプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58164237U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61228648A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-10-11 | アプライド マテリアルズ インコ−ポレ−テツド | 半導体ウェハ製造装置、半導体ウェハ処理装置及びチャック装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS551120A (en) * | 1978-06-16 | 1980-01-07 | Nissin Electric Co Ltd | Driver for wafer holder |
-
1982
- 1982-04-27 JP JP6052182U patent/JPS58164237U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS551120A (en) * | 1978-06-16 | 1980-01-07 | Nissin Electric Co Ltd | Driver for wafer holder |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61228648A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-10-11 | アプライド マテリアルズ インコ−ポレ−テツド | 半導体ウェハ製造装置、半導体ウェハ処理装置及びチャック装置 |
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