JPS60117089U - 真空チヤツク装置 - Google Patents
真空チヤツク装置Info
- Publication number
- JPS60117089U JPS60117089U JP280984U JP280984U JPS60117089U JP S60117089 U JPS60117089 U JP S60117089U JP 280984 U JP280984 U JP 280984U JP 280984 U JP280984 U JP 280984U JP S60117089 U JPS60117089 U JP S60117089U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chuck
- chuck device
- piston rod
- compression spring
- air cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の実施例の正面一部断面図、第２図はそれ
の平面図、第３図は本考案の実施例の正面一部断面図、
第４図はそれのＡ−Ａ線断面平面図。 １・・・真空チャック、２・・・圧縮ばね、３・・・エ
アシリンダ、４・・・移動アーム、１７・・・ピストン
ロッド。
の平面図、第３図は本考案の実施例の正面一部断面図、
第４図はそれのＡ−Ａ線断面平面図。 １・・・真空チャック、２・・・圧縮ばね、３・・・エ
アシリンダ、４・・・移動アーム、１７・・・ピストン
ロッド。
Claims (1)
- 真空チャック１を圧縮ばね２、エアシリンダ３及びピス
トンロッド１７を介して移動アーム４に−取り付けて成
る真空チャック装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP280984U JPS60117089U (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 真空チヤツク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP280984U JPS60117089U (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 真空チヤツク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60117089U true JPS60117089U (ja) | 1985-08-07 |
Family
ID=30476832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP280984U Pending JPS60117089U (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 真空チヤツク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60117089U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS508955A (ja) * | 1973-06-04 | 1975-01-29 | ||
| JPS592809B2 (ja) * | 1976-07-06 | 1984-01-20 | 三菱電機株式会社 | 冷房装置 |
-
1984
- 1984-01-11 JP JP280984U patent/JPS60117089U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS508955A (ja) * | 1973-06-04 | 1975-01-29 | ||
| JPS592809B2 (ja) * | 1976-07-06 | 1984-01-20 | 三菱電機株式会社 | 冷房装置 |
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