JPH0328721U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0328721U JPH0328721U JP8873689U JP8873689U JPH0328721U JP H0328721 U JPH0328721 U JP H0328721U JP 8873689 U JP8873689 U JP 8873689U JP 8873689 U JP8873689 U JP 8873689U JP H0328721 U JPH0328721 U JP H0328721U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist
- nozzle
- semiconductor wafer
- drying
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の一具体例を示すレジスト塗布
装置の一部分を断面にした正面図である。第２図
は従来装置の一部分を断面にした正面図、第３図
Ａ，Ｂはフオトレジスト滴下用ノズルの従来例を
示す斜視図である。 Ｗ……半導体ウエーハ、Ｆ……フオトレジスト
膜、２……滴下用ノズル、５……フオトレジスト
、７……乾燥・硬化防止用フード。
装置の一部分を断面にした正面図である。第２図
は従来装置の一部分を断面にした正面図、第３図
Ａ，Ｂはフオトレジスト滴下用ノズルの従来例を
示す斜視図である。 Ｗ……半導体ウエーハ、Ｆ……フオトレジスト
膜、２……滴下用ノズル、５……フオトレジスト
、７……乾燥・硬化防止用フード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハにフオトレジストを塗布してフ
オトレジスト膜を形成する装置であつて、 半導体ウエーハのフオトレジスト膜形成面の上
方に位置するフオトレジスト滴下用ノズルの先端
に、このノズルより大径のフオトレジスト乾燥・
硬化防止用フードを固着したことを特徴とするレ
ジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8873689U JPH0328721U (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8873689U JPH0328721U (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0328721U true JPH0328721U (ja) | 1991-03-22 |
Family
ID=31638331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8873689U Pending JPH0328721U (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0328721U (ja) |
-
1989
- 1989-07-27 JP JP8873689U patent/JPH0328721U/ja active Pending