JPH0371622U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0371622U JPH0371622U JP13296789U JP13296789U JPH0371622U JP H0371622 U JPH0371622 U JP H0371622U JP 13296789 U JP13296789 U JP 13296789U JP 13296789 U JP13296789 U JP 13296789U JP H0371622 U JPH0371622 U JP H0371622U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- spin coater
- spin
- rinsing liquid
- back side
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案に係るスピンコータの縦断面図
、第２図はスピンチヤツクの裏面を示す斜視図、
第３図は従来例を示す第１図相当図である。 １……基板、２……スピンチヤツク、３……基
板載置部、３ａ……スピンチヤツクの裏面側傾斜
面、４……塗布液ノズル、４ａ……塗布液、６…
…リンス液供給ノズル、６ａ……リンス液。
、第２図はスピンチヤツクの裏面を示す斜視図、
第３図は従来例を示す第１図相当図である。 １……基板、２……スピンチヤツク、３……基
板載置部、３ａ……スピンチヤツクの裏面側傾斜
面、４……塗布液ノズル、４ａ……塗布液、６…
…リンス液供給ノズル、６ａ……リンス液。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 矩形状の基板を保持して回転するスピンチヤツ
クと、基板に塗布液を供給する塗布液ノズルと、
基板の裏面にリンス液を供給するリンス液ノズル
とを具備して成るスピンコータにおいて、 スピンチヤツクの基板載置部を矩形状に形成す
るとともに、裏面をその中心部から周縁部へ向け
て漸次薄肉傾斜状に形成し、リンス液をその傾斜
面に供給するように構成したことを特徴とするス
ピンコータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13296789U JPH0371622U (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13296789U JPH0371622U (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0371622U true JPH0371622U (ja) | 1991-07-19 |
Family
ID=31680395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13296789U Pending JPH0371622U (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0371622U (ja) |
-
1989
- 1989-11-14 JP JP13296789U patent/JPH0371622U/ja active Pending