JPH0217268U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0217268U JPH0217268U JP9548188U JP9548188U JPH0217268U JP H0217268 U JPH0217268 U JP H0217268U JP 9548188 U JP9548188 U JP 9548188U JP 9548188 U JP9548188 U JP 9548188U JP H0217268 U JPH0217268 U JP H0217268U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- square
- substrate
- recess
- holder
- coating device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す縦断正面図、
第２図は従来例を示す斜視図、第３図はその縦断
正面図である。 １…角形基板、２…ホルダ本体、３…角形凹部
、５…小孔、６…深凹部。
第２図は従来例を示す斜視図、第３図はその縦断
正面図である。 １…角形基板、２…ホルダ本体、３…角形凹部
、５…小孔、６…深凹部。
Claims (1)
- 塗布液を滴下させて塗布膜を形成する角形基板
を支持して回転駆動される回転塗布装置の基板ホ
ルダにおいて、円板形状のホルダ本体の中央部に
前記角形基板を装着する角形凹部を角形基板と略
同一の大きさに形成し、前記ホルダ本体に角形凹
部に連通する角形基板吸着用の小孔を形成し、前
記角形凹部の底部に前記角形基板下面周縁部に対
応する深凹部を形成したことを特徴とする回転塗
布装置の基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9548188U JPH0217268U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9548188U JPH0217268U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217268U true JPH0217268U (ja) | 1990-02-05 |
Family
ID=31320154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9548188U Pending JPH0217268U (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217268U (ja) |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP9548188U patent/JPH0217268U/ja active Pending