JPS60131344U - 平面加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａは従来のピンをキャリア駆動部に設けてなる平
面研磨装置の一例を示す部分模式平面図、同図すは同図
ａのＸ−Ｘ断面図、−第２図ａは本考案の一実施例の外
゛側ピンの構成を示す斜視−図、同図すは同図ａの外軸
用蓋のＹ−Ｙ断面図、同図Ｃと同図ｄはそれぞれ本考案
の一実施例の外側ピンと内側ピンの断面図、同図ｅは本
考案の一実施例を設けた平面研磨装置の部分模式断面図
、第３図は本考案の一実施例の外側ピンの動作状態を示
すｋめの外軸用蓋を除いた部分模式拡大断面図、第４図
は本考案の他の実施例のピン緩衝部を示す平面図と正面
図である。　　　− １・・・・・・外側駆動部、３・・・・・・内側駆動部
、５・・・・・・ガラス基板、６・・・・・・キャリア
、１０・・・・・・外側ピン、２０・・・・・・内側ピ
ン、３０・・・・・・接触部、６１・・・・・・キャリ
アの歯、１０し・・・・・外軸、１０２・・・・・・軸
取付台、１０３・：・・・・穴、１０４・・・・・・外
側ピン緩衝部、１０５・・・・・・凹部、１０６・・・
・・・外軸用蓋、２０１・・・・・・内軸、２０２・・
・・・・内側ピン緩衝部、２０３、、、、　＊＊＊＊＊
＊内軸用蓋、４０１・・・・・・ピン緩衝部、４０２・
・・・・・穴。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被加工物の表面を平面加工する外側キャリア駆動部、内
   側キャリア駆動部、前記外側キャリア駆動部と前記内側
   キャリア駆動部にそれぞれ設けられた外側ピンと内側ピ
   ンからなる平面加工装置において、前記外側ピンと前記
   内側ピンが、前記外側キャリア駆動部と前記内側キャリ
   ア駆動部のそれぞれに設け−られた円柱状の軸と、前記
   円柱状の軸に挿入され、かつ円柱状の軸を中心軸として
   回転する筒状の緩衝部からなることを特徴とする平面加
   工装置。