JPS60192445U - ウエハ−チヤツク - Google Patents

ウエハ−チヤツク

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Publication number
JPS60192445U
JPS60192445U JP7869384U JP7869384U JPS60192445U JP S60192445 U JPS60192445 U JP S60192445U JP 7869384 U JP7869384 U JP 7869384U JP 7869384 U JP7869384 U JP 7869384U JP S60192445 U JPS60192445 U JP S60192445U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
wafer chuck
chuck
groove
vacuum suction
Prior art date
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Pending
Application number
JP7869384U
Other languages
English (en)
Inventor
実 佐藤
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP7869384U priority Critical patent/JPS60192445U/ja
Publication of JPS60192445U publication Critical patent/JPS60192445U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウェハーステッパーを説明するための図
、第２図は従来のウェハーチャックのゴミ等による不具
合を説明するための図、第３図は本考案によるウェハー
チャックを説明するための図である。 図面のおいて、１０はウェハーチャック本体、１１は真
空吸引用の溝、１２は溝の周辺部、１３．１４は真空吸
引用の孔、１６はウェハーをそれぞれ示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハー吸着面に複数条の真空吸着用の溝を同心円状又
    は同心円弧状に形成し、該溝の周辺を残して他の部分は
    ウェハーと接触しないように窪ませたことを特徴とする
    ウエノ１−チャック。
JP7869384U 1984-05-30 1984-05-30 ウエハ−チヤツク Pending JPS60192445U (ja)

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JP7869384U JPS60192445U (ja) 1984-05-30 1984-05-30 ウエハ−チヤツク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7869384U JPS60192445U (ja) 1984-05-30 1984-05-30 ウエハ−チヤツク

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60192445U true JPS60192445U (ja) 1985-12-20

Family

ID=30622903

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7869384U Pending JPS60192445U (ja) 1984-05-30 1984-05-30 ウエハ−チヤツク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60192445U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6393536A (ja) * 1986-10-08 1988-04-23 Nikon Corp 基板保持装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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