JPS59111041U - 選択蒸着マスク - Google Patents
選択蒸着マスクInfo
- Publication number
- JPS59111041U JPS59111041U JP343583U JP343583U JPS59111041U JP S59111041 U JPS59111041 U JP S59111041U JP 343583 U JP343583 U JP 343583U JP 343583 U JP343583 U JP 343583U JP S59111041 U JPS59111041 U JP S59111041U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deposition mask
- vapor deposition
- pattern
- support line
- line portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は選択蒸着マスクの上面図、第２図は従来の蒸着
マスクの断面図、第３図は本考案による蒸着マス゛りの
断面図、第４図は従来の被蒸着パターン、第５図は本考
案による被蒸着パターンである。 ３・・・ゲート−カソード分離部、４・・・カソード周
辺゛部、５・・・支持線部。
マスクの断面図、第３図は本考案による蒸着マス゛りの
断面図、第４図は従来の被蒸着パターン、第５図は本考
案による被蒸着パターンである。 ３・・・ゲート−カソード分離部、４・・・カソード周
辺゛部、５・・・支持線部。
Claims (3)
- （１）半導体基板の蒸着を要しない部分に密着せしめら
れるパターンと、このパターンを互いに連結する支持線
部とからなる選択蒸着マスクにおいて、前記マスクパタ
ーンを互いに連結する支持線部を前記半導体基板を密着
しない形状にしたことを特徴とする選択蒸着マスク。 - （２）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の選択蒸着
マスクにおいて、前記支持線部の形状を、パターン部分
の厚さよりも薄くしたことを特徴とする選択蒸着マスク
。 - （３）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の選択蒸着
マスクにおいて、前記支持線部の断面形状を三角形状で
あって、しかも、その−角が前記半導体基板に対向する
形状にしたことを特徴とする選択蒸着マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP343583U JPS59111041U (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 選択蒸着マスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP343583U JPS59111041U (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 選択蒸着マスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59111041U true JPS59111041U (ja) | 1984-07-26 |
Family
ID=30135050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP343583U Pending JPS59111041U (ja) | 1983-01-14 | 1983-01-14 | 選択蒸着マスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59111041U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006307282A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Kyocera Kinseki Corp | 蒸着用マスク |
-
1983
- 1983-01-14 JP JP343583U patent/JPS59111041U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006307282A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Kyocera Kinseki Corp | 蒸着用マスク |
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