JPS5912151U - 自動現像装置 - Google Patents
自動現像装置Info
- Publication number
- JPS5912151U JPS5912151U JP10840282U JP10840282U JPS5912151U JP S5912151 U JPS5912151 U JP S5912151U JP 10840282 U JP10840282 U JP 10840282U JP 10840282 U JP10840282 U JP 10840282U JP S5912151 U JPS5912151 U JP S5912151U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- developing device
- automatic developing
- upper cover
- ceiling
- inclined plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の自動現像装置の概略構造を示す断面図、
第２図は第１図の各部の位置関係を示す斜視図、第３図
は第１図のＴ−Ｗ曲線Ａを示す図、第４図は第１図のＰ
−Ｔ曲線Ｂを示す図、第５図は従来の自動現像装置の他
の概略構造を示す断面図、第６図はこの考案に係る自動
現像装置の一実施例を示す概略断面図である。 １・・・・・・上カバー、１ａ・・・・・・平坦な天井
部、２・・・・・・下カバー、３・・・・・・現像室、
４・・・・・・スプレーノズル、５・・・・・・モータ
、６・・・・・・回転台、７・・・・・・真空チャック
、８・・・・・・パイプ、９・・・・！・排気パイプ、
１０・・・・・・霧の流れ、１１・・・・・・しずく、
１２・・・・・・上カバー、１２ａ・・・・・・傾斜面
、１３・・・・・・傾斜板。なお、図中、同一符号は同
一または相当部分を示す。 −補正 昭５８− １．２５ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第８頁第５〜６行の「排気パイプ」を「排出パイ
プ」と補正する。。
第２図は第１図の各部の位置関係を示す斜視図、第３図
は第１図のＴ−Ｗ曲線Ａを示す図、第４図は第１図のＰ
−Ｔ曲線Ｂを示す図、第５図は従来の自動現像装置の他
の概略構造を示す断面図、第６図はこの考案に係る自動
現像装置の一実施例を示す概略断面図である。 １・・・・・・上カバー、１ａ・・・・・・平坦な天井
部、２・・・・・・下カバー、３・・・・・・現像室、
４・・・・・・スプレーノズル、５・・・・・・モータ
、６・・・・・・回転台、７・・・・・・真空チャック
、８・・・・・・パイプ、９・・・・！・排気パイプ、
１０・・・・・・霧の流れ、１１・・・・・・しずく、
１２・・・・・・上カバー、１２ａ・・・・・・傾斜面
、１３・・・・・・傾斜板。なお、図中、同一符号は同
一または相当部分を示す。 −補正 昭５８− １．２５ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第８頁第５〜６行の「排気パイプ」を「排出パイ
プ」と補正する。。
Claims (1)
- 現像室を形成する上カバーの平坦な天井部に配置される
スプレーノズルから写真製版の現像に必要な液やガスを
噴出し、下方の回転台に置かれたウェハなどの試料の現
像処理を行なう自動現像装置において、前記上カバーの
天井部から側面部にかけて傾斜する傾斜板を設けてなる
自動現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10840282U JPS5912151U (ja) | 1982-07-15 | 1982-07-15 | 自動現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10840282U JPS5912151U (ja) | 1982-07-15 | 1982-07-15 | 自動現像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5912151U true JPS5912151U (ja) | 1984-01-25 |
Family
ID=30252917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10840282U Pending JPS5912151U (ja) | 1982-07-15 | 1982-07-15 | 自動現像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5912151U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0491889A (ja) * | 1990-08-07 | 1992-03-25 | Seiichiro Oyama | 各種骨材の継手溶接方法，並びに各種骨材の継手溶接用支持装置 |
-
1982
- 1982-07-15 JP JP10840282U patent/JPS5912151U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0491889A (ja) * | 1990-08-07 | 1992-03-25 | Seiichiro Oyama | 各種骨材の継手溶接方法，並びに各種骨材の継手溶接用支持装置 |
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