JPS6052623U - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
- Publication number
- JPS6052623U JPS6052623U JP14230983U JP14230983U JPS6052623U JP S6052623 U JPS6052623 U JP S6052623U JP 14230983 U JP14230983 U JP 14230983U JP 14230983 U JP14230983 U JP 14230983U JP S6052623 U JPS6052623 U JP S6052623U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic cleaning
- cleaning equipment
- tank
- recorded
- electronic filing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は通常店（用いられているシリコンウェハ用キャ
リアの概要図、第２図は本考案の一実施例を示す概要図
である。 １・・・天板、２・・・シリコンウェハ、３・・・洗浄
槽、４・・・振動板、５・・・液面計、６・・・一番、
７・・・発振子、８・・・開口部。
リアの概要図、第２図は本考案の一実施例を示す概要図
である。 １・・・天板、２・・・シリコンウェハ、３・・・洗浄
槽、４・・・振動板、５・・・液面計、６・・・一番、
７・・・発振子、８・・・開口部。
Claims (1)
- 超音波洗浄装置において、洗浄槽上部に振動板“ を
設け、槽底面を山形としたことを特徴とする超音波洗浄
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14230983U JPS6052623U (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14230983U JPS6052623U (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | 超音波洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6052623U true JPS6052623U (ja) | 1985-04-13 |
Family
ID=30318025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14230983U Pending JPS6052623U (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052623U (ja) |
-
1983
- 1983-09-16 JP JP14230983U patent/JPS6052623U/ja active Pending
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