JPS5858884U - 筒状部材の洗浄装置 - Google Patents

筒状部材の洗浄装置

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Publication number
JPS5858884U
JPS5858884U JP15372681U JP15372681U JPS5858884U JP S5858884 U JPS5858884 U JP S5858884U JP 15372681 U JP15372681 U JP 15372681U JP 15372681 U JP15372681 U JP 15372681U JP S5858884 U JPS5858884 U JP S5858884U
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JP
Japan
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cylindrical member
cleaning equipment
member cleaning
cleaning
protrusion
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Pending
Application number
JP15372681U
Other languages
English (en)
Inventor
伊藤　善彦
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はエピタキシャル成長装置の断面図、第２図は第
１図の装置に用いられているコイルカバーの斜視図、第
３図は従来のコイルカバーの洗浄装置の断面図、第４図
はこの考案の一実施例の洗浄装置の断面図である。 １°０・・・・・・筒状部材（コイルカバー）、２３・
・・・・・洗浄槽、２５・・・・・・洗浄液（エツチン
グ液）、２６・・・・・・蓋体、２７・・・・・・突出
部、２８・・・・・・空所、２９・・・・・・洗浄液流
動手段（ポンプ）、３０・・・・・・パイプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 槽内に洗浄液を収容し筒状部材を浸漬して洗浄する装置
    において、前記槽に下面に突出部を有す゛　る蓋体を被
    せ、その突出部を筒状部材に嵌入したことを特徴とする
    筒状部材の洗浄装置。
JP15372681U 1981-10-15 1981-10-15 筒状部材の洗浄装置 Pending JPS5858884U (ja)

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JP15372681U JPS5858884U (ja) 1981-10-15 1981-10-15 筒状部材の洗浄装置

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JPS5858884U true JPS5858884U (ja) 1983-04-21

Family

ID=29946334

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JP15372681U Pending JPS5858884U (ja) 1981-10-15 1981-10-15 筒状部材の洗浄装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63156323A (ja) * 1986-12-19 1988-06-29 Mitsubishi Electric Corp 半導体製造におけるウエハ洗浄装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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