JPS5936804U - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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JPS5936804U
JPS5936804U JP13264182U JP13264182U JPS5936804U JP S5936804 U JPS5936804 U JP S5936804U JP 13264182 U JP13264182 U JP 13264182U JP 13264182 U JP13264182 U JP 13264182U JP S5936804 U JPS5936804 U JP S5936804U
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JP
Japan
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cleaning equipment
tank
boiling
distiller
utility
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JP13264182U
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JPS6122642Y2 (ja
Inventor
去来川　光男
Original Assignee
松下電工株式会社
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  • Extraction Or Liquid Replacement (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図はこの考案の実施例に係る立面略図である。 １・・・蒸留機、２・・・超音波槽、３・・・ボイリン
グ槽、５・・・水槽。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ボイリング槽と超音波槽と蒸留機とを備えたフッ化炭化
    水素の洗浄装置において、上記ボイリング槽に連通ずる
    密閉水槽を付設したことを特徴とする洗浄装置。
JP13264182U 1982-08-31 1982-08-31 洗浄装置 Granted JPS5936804U (ja)

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JP13264182U JPS5936804U (ja) 1982-08-31 1982-08-31 洗浄装置

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JP13264182U JPS5936804U (ja) 1982-08-31 1982-08-31 洗浄装置

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JPS5936804U true JPS5936804U (ja) 1984-03-08
JPS6122642Y2 JPS6122642Y2 (ja) 1986-07-08

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ID=30299470

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JPS6122642Y2 (ja) 1986-07-08

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