JPS58128930U - 成膜装置 - Google Patents

成膜装置

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Publication number
JPS58128930U
JPS58128930U JP2389282U JP2389282U JPS58128930U JP S58128930 U JPS58128930 U JP S58128930U JP 2389282 U JP2389282 U JP 2389282U JP 2389282 U JP2389282 U JP 2389282U JP S58128930 U JPS58128930 U JP S58128930U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film forming
film
container
forming apparatus
suction means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2389282U
Other languages
English (en)
Inventor
克己 鈴木
Original Assignee
株式会社東芝
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
Priority to JP2389282U priority Critical patent/JPS58128930U/ja
Publication of JPS58128930U publication Critical patent/JPS58128930U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の成膜装置を示す縦断面図、第２図はその
横断面図、第３図はその成膜終了時を示す説明図、第４
図は本考案の一実施例である成膜装置を示す縦断面図で
ある。　　　　　　−２２・・・容器（チャンバー）、
２８・・・被成膜体（ドラム状基板）、ａ・・・アモル
ファスシリコン感光層、３９・・・アモルファスシリコ
ンの微粉、４０・・・吸引手段。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）容器内に被成膜体を収容し、この被成膜体にアモ
    ルファスシリコン感光層を成膜するものにおいて、上記
    容器内に設けられたファンと、上記容器内に連通され成
    膜終了後に上記容器内に残留したアモルファスシリコン
    の微分を吸引除去する吸引手段とを具備したことを特徴
    とする成膜装置。
  2. （２）成膜終了後にファンを回転させるとともに吸引手
    段を作動させることを特徴とする実用新案登録請求の範
    囲第１項記載の成膜装置。
  3. （３）ファンの回転によって生じた風の流れ方向と吸引
    手段の吸引方向を同一にしたことを特徴とする実用新案
    登録請求の範囲第１項または第２項記載の成膜装置。
JP2389282U 1982-02-22 1982-02-22 成膜装置 Pending JPS58128930U (ja)

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JP2389282U JPS58128930U (ja) 1982-02-22 1982-02-22 成膜装置

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JP2389282U JPS58128930U (ja) 1982-02-22 1982-02-22 成膜装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58128930U true JPS58128930U (ja) 1983-09-01

Family

ID=30035905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2389282U Pending JPS58128930U (ja) 1982-02-22 1982-02-22 成膜装置

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JP (1) JPS58128930U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62142782A (ja) * 1985-12-17 1987-06-26 Canon Inc グロ−放電法による堆積膜形成装置
JPS62151570A (ja) * 1985-12-26 1987-07-06 Canon Inc 堆積膜形成装置

Citations (5)

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JPS4325497Y1 (ja) * 1966-03-02 1968-10-25
JPS5080758A (ja) * 1973-11-14 1975-07-01
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JPS57152126A (en) * 1981-03-16 1982-09-20 Seiko Epson Corp Cvd device under normal-pressure
JPS5889944A (ja) * 1981-11-26 1983-05-28 Canon Inc プラズマｃｖｄ装置

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