JPS59427U - アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 - Google Patents
アモルフアスシリコン感光体の成膜装置Info
- Publication number
- JPS59427U JPS59427U JP9291882U JP9291882U JPS59427U JP S59427 U JPS59427 U JP S59427U JP 9291882 U JP9291882 U JP 9291882U JP 9291882 U JP9291882 U JP 9291882U JP S59427 U JPS59427 U JP S59427U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amorphous silicon
- film forming
- mesh
- silicon photoreceptor
- dust trap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面側面図、
′第２図は同例を示す断面半面図１．第３図は同例の要
部を示す平面図である。 １・・・・・・アルファスジ７リコン感光体の成膜装置
、２・・・・・・チェンバー、４・・・・・・導電性ド
ラム状基板、１２．１８・・・・・・排気管、１３・・
・・・・ダストトラップ、１４・・・・・・メツシュ、
１７・・・・・・排気系統、３１・・・・・・振動装置
。
′第２図は同例を示す断面半面図１．第３図は同例の要
部を示す平面図である。 １・・・・・・アルファスジ７リコン感光体の成膜装置
、２・・・・・・チェンバー、４・・・・・・導電性ド
ラム状基板、１２．１８・・・・・・排気管、１３・・
・・・・ダストトラップ、１４・・・・・・メツシュ、
１７・・・・・・排気系統、３１・・・・・・振動装置
。
Claims (3)
- （１）チェンバー内で少な（ともＳｉを含むガスのプラ
ズマ状態を生じさせることにより導電性基体表面にアモ
ルファスシリコン感光体を成膜させるアモルファスシリ
コン感光体の成膜装置において、前記チェンバーと連通
して設けられ前記チェンバー内から少なくともＳｉを含
むガスを排気させるための排気系統と、この排気系統と
前記チェンバーとの間に連通して設けられ前記排気系統
の排気力により成膜中に前記チェンバー・内に生成され
る粉状Ｓｉを吸引回収するためのダストトラップと、こ
のダストトラップ内に敷設され前記ダストトラップ内に
吸引された粉状Ｓｉを捕獲回収するための一メツシュと
、このメツシュに振動を加えるための振動装置とを具備
して成ることを特徴とするアモルファスシリコン感光体
の成膜装置。 - （２）振動装置がメツシュに超音波振動を加えることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のアモル
ファスシリコン感光体の可膜装置。 - （３）ダストトラップはその内部に敷讃されるメツシュ
の下方に着脱自在に配置され、前記メツシュが振動する
ことにより振り落される粉状Ｓｉを回収するトレイを具
備することを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載のアモルファスシリコン感光体の成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9291882U JPS59427U (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9291882U JPS59427U (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59427U true JPS59427U (ja) | 1984-01-05 |
Family
ID=30223369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9291882U Pending JPS59427U (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59427U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6351025U (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-06 |
-
1982
- 1982-06-23 JP JP9291882U patent/JPS59427U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6351025U (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-06 |
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