JPS58192943U - アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 - Google Patents

アモルフアスシリコン感光体の成膜装置

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Publication number
JPS58192943U
JPS58192943U JP8874782U JP8874782U JPS58192943U JP S58192943 U JPS58192943 U JP S58192943U JP 8874782 U JP8874782 U JP 8874782U JP 8874782 U JP8874782 U JP 8874782U JP S58192943 U JPS58192943 U JP S58192943U
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JP
Japan
Prior art keywords
amorphous silicon
chamber
silicon photoreceptor
film forming
exhaust system
Prior art date
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JP8874782U
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JPH017728Y2 (ja
Inventor
克己 鈴木
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株式会社東芝
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Publication date
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  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す断面側面図、　　゛第
２図は同例を示す断面平面図、第３図は同例の要部を示
す平面図である。　　− １・・・・・・アモルファスシリコン感光体の成膜装置
、２・・・・・・チェンバー、１２．１８・・・・・・
排気管、１３・・・・・・ダストトラップ、１４・・・
・・・メツシュ、１５・・・・・・メカニカルブースタ
ーポンプ、１６・・・・・・ロータリーポンプ、１７・
・・・・・排気系統。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）チェンバー内で少なくともＳｉを含むガスのプラ
    ズマ状態を用いて導電性基体にアモルファスシリコン感
    光体を成膜するアモルファスシリコン感光体の成膜装置
    において、前記チェンバーと連通して設けられ前記チェ
    ンバー内から少なくともＳｉを含むガスを排気させるた
    めの排気系統と、この排気系統と前記チェンバーとの間
    に連通して設けられ前記排気系統の排気力により前記チ
    ェンバー向上生成される粉状Ｓｉを吸引して捕獲回収す
    る捕獲手段を備えたダストトラップとを具備して成るこ
    とを特徴とするアモルファスシリコン感光体の成膜装置
    。
  2. （２）ダストトラップは、粉状Ｓｉの捕獲手段として、
    　　　　その内部にメツシュが着脱自在に敷設されて成
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
    のアモルファスシリコン感光体の成膜装置。
  3. （３）ダストトラップはチェンバー及び排気系統と管状
    部材により連通されており、前記ダストトラップと前記
    チェンバーとを連通ずる管状部材は円錐形でその大口径
    側が前記チェンバーの底部と連結され小口径側が前記ダ
    ストトラップと連結されて成ることを特徴とする実用新
    案登録請求の範囲第１項及び第２項記載のアモルファス
    シリコン感光体の成膜装置。
JP8874782U 1982-06-16 1982-06-16 アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 Granted JPS58192943U (ja)

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JPH017728Y2 JPH017728Y2 (ja) 1989-03-01

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5889944A (ja) * 1981-11-26 1983-05-28 Canon Inc プラズマｃｖｄ装置
JPS58100671A (ja) * 1981-12-11 1983-06-15 Canon Inc 微粉末捕獲装置を備えたプラズマｃｖｄ装置
JPS58109132A (ja) * 1981-12-22 1983-06-29 Canon Inc 微粉末捕獲装置を備えたプラズマｃｖｄ装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5889944A (ja) * 1981-11-26 1983-05-28 Canon Inc プラズマｃｖｄ装置
JPS58100671A (ja) * 1981-12-11 1983-06-15 Canon Inc 微粉末捕獲装置を備えたプラズマｃｖｄ装置
JPS58109132A (ja) * 1981-12-22 1983-06-29 Canon Inc 微粉末捕獲装置を備えたプラズマｃｖｄ装置

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