JPS58172435U - 成膜装置 - Google Patents
成膜装置Info
- Publication number
- JPS58172435U JPS58172435U JP6768082U JP6768082U JPS58172435U JP S58172435 U JPS58172435 U JP S58172435U JP 6768082 U JP6768082 U JP 6768082U JP 6768082 U JP6768082 U JP 6768082U JP S58172435 U JPS58172435 U JP S58172435U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film forming
- mesh
- forming apparatus
- forming equipment
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はアモルファスシリコン感光体の構成説明図、第
２図は従来装置の概略的構成図、第３図は本考案装置の
一実施例を示す概略的構成図である。 １・・・導電性基板、２・・・ａ−３ｉ膜、３・・・ａ
−３ｉ感光体、５・・・反応室、１９・・・凹部、２０
・・・網目状体。
２図は従来装置の概略的構成図、第３図は本考案装置の
一実施例を示す概略的構成図である。 １・・・導電性基板、２・・・ａ−３ｉ膜、３・・・ａ
−３ｉ感光体、５・・・反応室、１９・・・凹部、２０
・・・網目状体。
Claims (3)
- （１）反応室内にＳｉを含むガスを導入するとともにグ
ロー放電を生起することにより基板上にアモルファスン
リコン膜を成膜するものにおいて、上記グ七−放電を生
起する反応室内の内壁面部に形成される凹部の少（とも
一部を網目状体で覆ったことを特徴とする成膜装置。 - （２）網目状体の粗さをメツシュ１５０からメツシュ５
０とした実用新案登録請求の範囲第１項記載の成膜装置
。 - （３） 網目状体の材質を導電性材料とした実用新案
登録請求の範囲第１項または第２項記載の成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6768082U JPS58172435U (ja) | 1982-05-10 | 1982-05-10 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6768082U JPS58172435U (ja) | 1982-05-10 | 1982-05-10 | 成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58172435U true JPS58172435U (ja) | 1983-11-17 |
Family
ID=30077496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6768082U Pending JPS58172435U (ja) | 1982-05-10 | 1982-05-10 | 成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58172435U (ja) |
-
1982
- 1982-05-10 JP JP6768082U patent/JPS58172435U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58172435U (ja) | 成膜装置 | |
| JPS5983968U (ja) | 金色携帯用外装部品 | |
| JPS58148050U (ja) | 固形燃料 | |
| JPS5868958U (ja) | グロ−放電ｃｖｄ装置 | |
| JPS59117139U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS58128930U (ja) | 成膜装置 | |
| JPS60191053U (ja) | カラ−プロセスユニツト | |
| JPS592132U (ja) | プラズマｃｖｄ装置 | |
| JPS58192946U (ja) | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 | |
| JPS60107859U (ja) | コロナ帯電装置 | |
| JPS6094821U (ja) | プラズマｃｖｄ装置 | |
| JPS6110706U (ja) | Ｘ線断層撮影装置用クレ−ドル | |
| JPS5845359U (ja) | 電子写真用感光体の製造装置 | |
| JPS59170745U (ja) | 燃焼装置 | |
| JPS59111039U (ja) | 拡散用石英管 | |
| JPS62186024U (ja) | ||
| JPS5811743U (ja) | 電子写真感光体用導電性基板 | |
| JPS58195300U (ja) | 音響球面レンズ | |
| JPS6046235U (ja) | セラミツクスとゴムの結合体 | |
| JPS6055189U (ja) | スピーカ用振動板 | |
| JPS5929720U (ja) | 電磁流量計発信器 | |
| JPS5888652U (ja) | 現像装置 | |
| JPS58195809U (ja) | 薄膜厚さ測定装置 | |
| JPS59163808U (ja) | 燃焼装置の炎筒 | |
| JPS59164237U (ja) | 蒸着装置 |