JPS58192946U - アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 - Google Patents
アモルフアスシリコン感光体の成膜装置Info
- Publication number
- JPS58192946U JPS58192946U JP8875182U JP8875182U JPS58192946U JP S58192946 U JPS58192946 U JP S58192946U JP 8875182 U JP8875182 U JP 8875182U JP 8875182 U JP8875182 U JP 8875182U JP S58192946 U JPS58192946 U JP S58192946U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amorphous silicon
- chamber
- silicon photoreceptor
- film forming
- liquid nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はアモルファスシリコン感光体の成膜中における
本考案の一実施例であるアモルファスシリコン感光体の
成膜装置を示す断面側面図、第２図は同例を示す断面平
面図、第３図は同例の要部を示す平面図、第４図はアモ
ルファスシリコン感 ・光体の成膜後における同例を示
す断面側面図である。
本考案の一実施例であるアモルファスシリコン感光体の
成膜装置を示す断面側面図、第２図は同例を示す断面平
面図、第３図は同例の要部を示す平面図、第４図はアモ
ルファスシリコン感 ・光体の成膜後における同例を示
す断面側面図である。
Claims (1)
- チェンバー内で少なくともＳｉを含むガスのプラズマ状
態を生じさせ導電性基体表面にアモルファスシリコン感
光体を成膜させるアモルファスシリコン感光体の成膜装
置において、前記チェンバー内に液体チッ素を流入させ
るための流入手段と前記チェンバーの底部から前記チェ
ンバー外へ液体チッ素を流出させるための流出手段とを
具備して成り、アモルファスシリコン感光体の成膜後に
前記流入手段により液体チッ素を前記チェンバー内へ流
入させ前記チェンバー内に付着する金属質シリコンを剥
離し、前記流出手段により液体チッ素とともに廃棄させ
ることを特徴とするアモルファスシリコン感光体の成膜
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8875182U JPS58192946U (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8875182U JPS58192946U (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58192946U true JPS58192946U (ja) | 1983-12-22 |
Family
ID=30097411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8875182U Pending JPS58192946U (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58192946U (ja) |
-
1982
- 1982-06-16 JP JP8875182U patent/JPS58192946U/ja active Pending
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